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J-GLOBAL ID:200903049651832599

電界放出型冷陰極及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999089369
Publication number (International publication number):2000285799
Application date: Mar. 30, 1999
Publication date: Oct. 13, 2000
Summary:
【要約】【課題】 電界放出の均一性や電界放出効率に優れ、生産性の高い電界放出型冷陰極を得る。【解決手段】 基板11表面を複数の方向に切削することにより、複数の切削部13に囲まれた領域を電界放出型冷陰極のエミッタ15として形成する。
Claim (excerpt):
基板表面を複数の方向に切削することにより、複数の切削部に囲まれた領域をエミッタとして形成することを特徴とする電界放出型冷陰極の製造方法。
IPC (2):
H01J 9/02 ,  H01L 29/66
FI (2):
H01J 9/02 B ,  H01L 29/66
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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