ナノスケール磁気顕微鏡用のナノチューブカンチレバープローブ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：藤野清也 , 藤野清規 , 吉見京子 , 石井良夫 , 後藤さなえ
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004546747
Publication number (International publication number)：2006501484
Application date： Sep. 18, 2003
Publication date： Jan. 12, 2006
Summary：

本発明は、単一陽子および単一電子スピンを検出することができる微小寸法プローブを備えるMFMまたはMRFM分析装置を提供する。本発明はさらに、およそ1ナノメートルの大きさの磁気構造を検出することができる微小寸法プローブを備えるMFMまたはMRFM装置を提供する。本発明は特に、MFMまたはMRFM装置用の微小寸法プローブを提供し、微小寸法プローブは、ナノスケールの強磁性体材料を含むCNTカンチレバーを備える。CNTカンチレバーは、顕微鏡プローブの構成要素として電極に取り付けられることができ、顕微鏡プローブは、ナノスケールMFMまたはMRFM微小寸法プローブ装置の構成要素として電気回路と結合される。プローブと電気回路とを備えるこの装置は、電気的読み出しに対応した既存の走査型プローブ顕微鏡(SPM)装置に組み込むことができる。

Claim (excerpt)：

a)基板材料に取り付けられた電極アレイと、 b)前記電極アレイに取り付けられた複数のミクロ微粒子強磁性材料を有するカンチレバー配置に構成されたナノチューブアレイと、 c)前記電極アレイとプローブ部とを結合する電気回路とを含む、微小寸法プローブ。

IPC (2)：

G01N 13/22 , G12B 21/10

FI (2)：

G01N13/22 B , G12B1/00 601E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

集束イオンビーム加工による走査型顕微鏡用プローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-403560 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社, セイコーインスツルメンツ株式会社
受発光プローブ及び受発光プローブ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-081672 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
導電性走査型顕微鏡用プローブ及びこれを用いた加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-403559 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社, セイコーインスツルメンツ株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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