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J-GLOBAL ID：200903050379476646

レジスト用重合体の製造方法

Inventor：
兼子 功

About 兼子 功

, 
稲葉 秀之

About 稲葉 秀之

, 
桑野 英昭

About 桑野 英昭

, 
脇阪 幸也

About 脇阪 幸也


Applicant, Patent owner：
三菱レイヨン株式会社

About 三菱レイヨン株式会社


Agent (3)： 宮崎 昭夫 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004140072
Publication number (International publication number)：2005320451
Application date： May. 10, 2004
Publication date： Nov. 17, 2005
Summary：
【課題】 有機溶媒に対する溶解性に優れるレジスト用重合体を製造できる方法を提供することを目的とする。【解決手段】 重合することにより目的とする重合体の構成単位となる単量体を溶剤中で溶液重合して、目的とする重合体を含む溶液を得、再沈殿溶媒と前記重合体を含む溶液とを混合して重合体を析出させた後、重合体を分離し、重合体の含液率10%以上の領域では、レジスト用重合体の粉末温度が-30〜40°Cとなるように制御して重合体を乾燥させ、重合体の含液率10%未満(0%も含む)の領域では、レジスト用重合体の粉末温度がレジスト用重合体の含液率10%以上の領域におけるレジスト用重合体の粉末温度よりも高温で、かつ、30〜70°Cとなるように制御して重合体を乾燥させる。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
重合体の含液率10%以上の領域では、レジスト用重合体の粉末温度が-30〜40°Cとなるように制御して重合体を乾燥させ、 重合体の含液率10%未満(0%も含む)の領域では、レジスト用重合体の粉末温度がレジスト用重合体の含液率10%以上の領域におけるレジスト用重合体の粉末温度よりも高温で、かつ、30〜70°Cとなるように制御して重合体を乾燥させるレジスト用重合体の乾燥方法。
IPC (4)：
C08F6/06 ,  G03F7/032 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (4)：
C08F6/06 ,  G03F7/032 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
F-Term (52)：
2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025CB52 ,  2H025FA17 ,  4J100AJ02R ,  4J100AL03P ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL74P ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA04P ,  4J100BA04Q ,  4J100BA05P ,  4J100BA05Q ,  4J100BA06P ,  4J100BA06Q ,  4J100BA10P ,  4J100BA10Q ,  4J100BA11Q ,  4J100BA16P ,  4J100BA16Q ,  4J100BA27P ,  4J100BA27Q ,  4J100BA40Q ,  4J100BA40S ,  4J100BC08S ,  4J100BC09P ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC12P ,  4J100BC12S ,  4J100BC53Q ,  4J100BC58Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100FA19 ,  4J100GC25 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)

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