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J-GLOBAL ID:200903050863123910
有機・無機酸化物混合体薄膜、それを用いた受動素子内蔵電子基板及び有機・無機酸化物混合体薄膜の製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (3):
小川 勝男
, 田中 恭助
, 佐々木 孝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003206488
Publication number (International publication number):2005056935
Application date: Aug. 07, 2003
Publication date: Mar. 03, 2005
Summary:
【課題】基板に内蔵可能なコンデンサ材料を得るため、静電容量密度の高い有機・無機酸化物混合体を得ることを目的とする。【解決手段】平均粒径が90nm以下の無機酸化物粒子を有機ポリマーに分散し、誘電率10以上、厚さ900nm以下の混合体薄膜、それを内蔵する基板及びその製造方法。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
有機ポリマーに平均粒径が90nm以下の実質的に球形の無機酸化物粒子を分散した有機・無機酸化物混合体薄膜であって、該薄膜の比誘電率が10以上であり、かつ厚さが900nm以下であることを特徴とする有機・無機酸化物混合体薄膜。
IPC (6):
H01G4/20
, C08K7/18
, C08L101/00
, H01B3/00
, H01G4/33
, H05K3/46
FI (6):
H01G4/20
, C08K7/18
, C08L101/00
, H01B3/00 A
, H05K3/46 Q
, H01G4/06 101
F-Term (41):
4G047CA02
, 4G047CA07
, 4G047CB06
, 4G047CC02
, 4G047CD02
, 4G047CD04
, 4J002BD121
, 4J002BH021
, 4J002CC031
, 4J002CD001
, 4J002CL001
, 4J002CM041
, 4J002CP031
, 4J002DE056
, 4J002DE096
, 4J002DE136
, 4J002DE186
, 4J002GQ01
, 5E082AB03
, 5E082BC39
, 5E082FF14
, 5E082FG03
, 5E082FG22
, 5E082FG26
, 5E082FG32
, 5E082FG34
, 5E082PP01
, 5E082PP09
, 5E346AA13
, 5E346CC16
, 5E346CC21
, 5E346DD07
, 5E346FF45
, 5E346GG28
, 5E346HH06
, 5E346HH24
, 5G303AA01
, 5G303AB05
, 5G303BA03
, 5G303CA01
, 5G303CA09
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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高誘電体組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-101227
Applicant:東レ株式会社
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感光性誘電体形成用組成物、誘電体および電子部品
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-166087
Applicant:JSR株式会社
-
超微粒子複合樹脂粒子、誘電体形成用組成物および電子部品
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-214473
Applicant:ジェイエスアール株式会社
-
チタニア超薄膜およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-083654
Applicant:独立行政法人物質・材料研究機構
-
薄膜コンデンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-232308
Applicant:株式会社日立製作所
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コンデンサ内蔵薄膜多層配線板
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-171940
Applicant:富士通株式会社
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