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J-GLOBAL ID:200903050863123910

有機・無機酸化物混合体薄膜、それを用いた受動素子内蔵電子基板及び有機・無機酸化物混合体薄膜の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 小川 勝男 ,  田中 恭助 ,  佐々木 孝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003206488
Publication number (International publication number):2005056935
Application date: Aug. 07, 2003
Publication date: Mar. 03, 2005
Summary:
【課題】基板に内蔵可能なコンデンサ材料を得るため、静電容量密度の高い有機・無機酸化物混合体を得ることを目的とする。【解決手段】平均粒径が90nm以下の無機酸化物粒子を有機ポリマーに分散し、誘電率10以上、厚さ900nm以下の混合体薄膜、それを内蔵する基板及びその製造方法。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
有機ポリマーに平均粒径が90nm以下の実質的に球形の無機酸化物粒子を分散した有機・無機酸化物混合体薄膜であって、該薄膜の比誘電率が10以上であり、かつ厚さが900nm以下であることを特徴とする有機・無機酸化物混合体薄膜。
IPC (6):
H01G4/20 ,  C08K7/18 ,  C08L101/00 ,  H01B3/00 ,  H01G4/33 ,  H05K3/46
FI (6):
H01G4/20 ,  C08K7/18 ,  C08L101/00 ,  H01B3/00 A ,  H05K3/46 Q ,  H01G4/06 101
F-Term (41):
4G047CA02 ,  4G047CA07 ,  4G047CB06 ,  4G047CC02 ,  4G047CD02 ,  4G047CD04 ,  4J002BD121 ,  4J002BH021 ,  4J002CC031 ,  4J002CD001 ,  4J002CL001 ,  4J002CM041 ,  4J002CP031 ,  4J002DE056 ,  4J002DE096 ,  4J002DE136 ,  4J002DE186 ,  4J002GQ01 ,  5E082AB03 ,  5E082BC39 ,  5E082FF14 ,  5E082FG03 ,  5E082FG22 ,  5E082FG26 ,  5E082FG32 ,  5E082FG34 ,  5E082PP01 ,  5E082PP09 ,  5E346AA13 ,  5E346CC16 ,  5E346CC21 ,  5E346DD07 ,  5E346FF45 ,  5E346GG28 ,  5E346HH06 ,  5E346HH24 ,  5G303AA01 ,  5G303AB05 ,  5G303BA03 ,  5G303CA01 ,  5G303CA09
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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