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J-GLOBAL ID：200903050989176105

角速度センサ

Inventor：
岡田 和廣

About 岡田 和廣


Applicant, Patent owner：
岡田 和廣

About 岡田 和廣


Agent (1)： 志村 浩
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005291014
Publication number (International publication number)：2006023320
Application date： Oct. 04, 2005
Publication date： Jan. 26, 2006
Summary：
【課題】 単純な構造で三次元の所定軸まわりの角速度を検出する。【解決手段】 圧電素子520の上面に上部電極L1〜L4を形成し、下面に下部電極M1〜M4を形成した構造体を、XY平面に対して平行な主面を有する可撓基板510上に固着する。可撓基板510の下面には振動子550を設ける。上部電極L1〜L4および下部電極M1〜M4の間に所定位相の交流信号を供給することにより、振動子550をX軸方向に振動させた状態にする。その状態において、振動子550に加わるZ軸方向のコリオリ力による振動子550のZ軸方向への変位を、圧電素子520の両面に形成された図示されていない別な上部電極および下部電極間の電圧に基づいて検出し、検出した電圧をY軸まわりの角速度を示す値として出力する。【選択図】 図58
Claim (excerpt)：
XYZ三次元座標系における所定の座標軸まわりの角速度を検出する角速度センサであって、 質量をもった振動子と、 この振動子を収容するセンサ筐体と、 前記振動子を、所定の座標軸方向に移動できるような自由度をもった状態で、前記センサ筐体に接続する接続手段と、 前記振動子を、クーロン力、磁気力、または圧電素子に発生する応力を利用して、所定の座標軸方向に振動させる励振手段と、 前記振動子の所定の座標軸方向への変位を検出する変位検出手段と、 を備えることを特徴とする多軸角速度センサ。
IPC (2)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2)：
G01C19/56 ,  G01P9/04
F-Term (5)：
2F105AA02 ,  2F105BB01 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
  • 国際公開第WO88/08522号公報(米国特許第4967605号/同第5182515号)
  • 国際公開第WO91/10118号公報(米国特許第5295386号)
  • 国際公開第WO92/17759号公報(米国特許第5492020号)
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Cited by examiner (13)
  • 加速度検出装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-252974   Applicant：岡田和廣
  • 特開平3-200038
  • 特開平4-084725
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