ポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995128100
Publication number (International publication number)：1996320563
Application date： May. 26, 1995
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【目的】感度、解像度が高く、レジスト形状が良好なポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供する。【構成】 (a)分子内にtert-アミロキシカルボニル構造を有し、分子量分散度(D)(重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn))が1.01〜1.5の範囲である単分散性ビニル重合体、(b)活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント。

Claim (excerpt)：

(a)分子内にtert-アミロキシカルボニル構造を有し、分子量分散度(D)(重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn))が1.01〜1.5の範囲である単分散性ビニル重合体及び(b)活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503

FI (2)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-269754
tert-ブトキシカルボニル基で部分エステル化されたポリ(3-ヒドロキシスチレン)及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-225172 Applicant：信越化学工業株式会社
特開平4-350658

Show all

Return to Previous Page