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J-GLOBAL ID：200903051510151142

圧電素子およびその製造方法

Inventor： 秋山 守人 ,  上野 直広 ,  立山 博 ,  桑野 範之
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003013934
Publication number (International publication number)：2004265899
Application date： Jan. 22, 2003
Publication date： Sep. 24, 2004
Summary：

【課題】高い双極子配向度を有する窒化アルミニウムや酸化亜鉛からなる薄膜を用いた高性能の圧電素子を提供する。【解決手段】石英ガラス基板またはステンレス基板上に、下部電極を形成する。下部電極上に、スパッタリング法を用いて、双極子配向度が55%以上となるように薄膜状の窒化アルミニウムおよび/または酸化亜鉛を製膜することにより、圧電体薄膜を形成する。そして、圧電体薄膜上に上部電極を形成する。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

基板上に、第1電極層、圧電層、および第2電極層がこの順に積層された圧電素子であって、 上記圧電層は、窒化アルミニウムおよび/または酸化亜鉛からなり、その双極子配向度が55%以上であることを特徴とする圧電素子。

IPC (5)：

H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H03H9/17

FI (6)：

H01L41/08 C ,  H03H9/17 Z ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z

F-Term (18)：

2G064AA00 ,  2G064AB16 ,  2G064BA02 ,  2G064BA07 ,  2G064BA08 ,  2G064BB64 ,  2G064BD18 ,  5J108AA07 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108KK02 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 圧電薄膜共振子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-182196   Applicant：宇部エレクトロニクス株式会社
• 高温薄膜型振動センサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-298228   Applicant：工業技術院長
• 薄膜型圧電センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-352567   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
• 圧電センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-322301   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
• 透明圧電センサおよびそれを備えた入力装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-289197   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所