光学素子機能を有する透明導電膜およびその製造方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：後藤幸久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001375134
Publication number (International publication number)：2003178625
Application date： Dec. 10, 2001
Publication date： Jun. 27, 2003
Summary：

【要約】【課題】インジウム等を金属原子の主成分とする金属酸化物膜に光加工が施されてなる、光学素子機能を有する導電膜およびその製造方法を提供する。【解決手段】光学素子機能を有する透明導電膜は、インジウム、亜鉛および錫から選択された少なくとも一種の金属原子(特にインジウム)を金属原子の主成分として含有している金属酸化物膜に、集光されたレーザーの照射により、構造が変化した構造変化部が形成されていることを特徴とする。金属酸化物膜は、ガラス製基板上に形成されていてもよい。パルス幅が10-6秒以下のレーザーを用いることができる。金属酸化物膜内に、エネルギーバンドギャップが5.0eV以上である透明薄膜を有していてもよい。

Claim (excerpt)：

インジウム、亜鉛および錫から選択された少なくとも一種の金属原子を金属原子の主成分として含有している金属酸化物膜に、集光されたレーザーの照射により、構造が変化した構造変化部が形成されていることを特徴とする光学素子機能を有する透明導電膜。

IPC (2)：

H01B 5/14 , H01B 13/00 503

FI (2)：

H01B 5/14 A , H01B 13/00 503 B

F-Term (7)：

5G307FA01 , 5G307FB01 , 5G307FC09 , 5G307FC10 , 5G323BA02 , 5G323BB05 , 5G323BC03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

透明導電膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-184227 Applicant：カシオ計算機株式会社
透明電極の形成方法および形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-017709 Applicant：株式会社日本製鋼所
特開昭60-175314

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