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J-GLOBAL ID：200903051772683625

欠陥検査装置

Inventor：
山田 和公

About 山田 和公

, 
赤木 俊夫

About 赤木 俊夫


Applicant, Patent owner：
新日本製鐵株式会社

About 新日本製鐵株式会社


Agent (2)： 矢葺 知之 ,  津波古 繁夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003348032
Publication number (International publication number)：2004163416
Application date： Oct. 07, 2003
Publication date： Jun. 10, 2004
Summary：
【課題】 判別対象となるデータにおいて特定の種類が寡占している場合に、より単純な判別条件を自動生成することによって、人間が判別式を調整することによる性能向上を容易にする欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 判別手段として、各欠陥の種類毎に判別条件を明記したロジックテーブルによる判別を用いる。このロジックテーブルにおいて、まず、最下位の判別規則を全て寡占している疵種を判定する、という規則とする。次に、より下位の判別規則で正解するデータを含まないように、その他のデータの種類の判別条件を探索し、一つ上位のルールとして設定する。これを順次繰り返すことによってロジックテーブルの下位からロジックを生成する。これによって、寡占している種類のデータの判別規則が最下位の判別規則のみとなることで、データの過度の細分化を避けたより単純な判別手段を生成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
検査対象を撮像し、画像を得る撮像手段; 撮像手段で得られた信号から欠陥を検出する欠陥検出手段; 欠陥検出手段で検出された各欠陥の特徴量を抽出する特徴量抽出手段; 欠陥の特徴量から、各欠陥の種類毎に判別条件式を記したロジックテーブルによってその種類及び程度を判別する欠陥判別手段; 欠陥の種類及び程度が既知のデータからなるデータベースに対して、欠陥が同種で特徴量が類似したデータを一つのクラスタにまとめ、データ数の多い順に下位のクラスタに配置する純粋クラスタ分割機能により、複数のクラスタに分割するクラスタ分割機能、および分割されたクラスタ毎に特徴量の値を用いた判別条件式を生成し、ロジックテーブルを生成するロジックテーブル生成機能の二つの機能を有し、データベースから自動的にロジックテーブルを生成するロジックテーブル生成手段; を備えた欠陥検査装置。
IPC (5)：
G01N21/88 ,  G01B11/30 ,  G01N21/892 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00
FI (5)：
G01N21/88 J ,  G01B11/30 A ,  G01N21/892 B ,  G06T1/00 300 ,  G06T7/00 300F
F-Term (43)：
2F065AA21 ,  2F065AA49 ,  2F065AA58 ,  2F065CC06 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG03 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ33 ,  2F065RR05 ,  2G051AA37 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EC01 ,  2G051ED15 ,  2G051ED22 ,  5B057AA02 ,  5B057BA02 ,  5B057BA29 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB08 ,  5B057DC03 ,  5B057DC04 ,  5L096BA03 ,  5L096CA16 ,  5L096CA17 ,  5L096EA11 ,  5L096EA39 ,  5L096FA09 ,  5L096FA32 ,  5L096FA33 ,  5L096GA34 ,  5L096HA07 ,  5L096JA11 ,  5L096MA07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 欠陥検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-119097   Applicant：新日本製鐵株式会社
Cited by examiner (4)
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