固体レーザ装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三好祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003081142
Publication number (International publication number)：2004288996
Application date： Mar. 24, 2003
Publication date： Oct. 14, 2004
Summary：

【課題】複数の共振器を具備する固体レーザ装置に於いて、レーザ光線の出力の制御についての改善を図る。【解決手段】光軸の一部、出力鏡19を共有し、第1レーザ光線を射出する第1共振器25と、第2レーザ光線を射出する第2共振器26と、第1共振器用第1発光部14と、第2共振器用第2発光部21と、前記出力鏡から射出されるレーザ光線12の内、前記第1レーザ光線λ1 の一部を分割しモニタリングするモニタリング手段27と、前記第2レーザ光線λ2 の一部を分割してモニタリングする手段28と、モニタリング手段からの検出結果を基に前記第1発光部、第2発光部の少なくとも一方を制御する制御部30を具備する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光軸の一部、出力鏡を共有し、第1レーザ光線を射出する第1共振器と、第2レーザ光線を射出する第2共振器と、第1共振器用第1発光部と、第2共振器用第2発光部と、前記出力鏡から射出されるレーザ光線の内、前記第1レーザ光線λ1 の一部を分割しモニタリングするモニタリング手段と、前記第2レーザ光線λ2 の一部を分割してモニタリングする手段と、モニタリング手段からの検出結果を基に前記第1発光部、第2発光部の少なくとも一方を制御する制御部を具備することを特徴とする固体レーザ装置。

IPC (4)：

H01S3/102 , A61B18/20 , H01S3/07 , H01S3/094

FI (4)：

H01S3/102 , H01S3/07 , H01S3/094 S , A61B17/36 350

F-Term (19)：

4C026AA04 , 4C026BB08 , 4C026FF03 , 4C026FF33 , 4C026FF34 , 4C026HH13 , 4C026HH14 , 4C026HH15 , 4C026HH16 , 4C026HH17 , 5F072AB02 , 5F072AB20 , 5F072HH02 , 5F072HH04 , 5F072PP07 , 5F072SS06 , 5F072YY01 , 5F072YY06 , 5F072YY20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

レーザ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-332117 Applicant：株式会社ニコン
レーザ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-227921 Applicant：株式会社ニデック
レーザ光発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-005425 Applicant：ソニー株式会社

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