超高感度の金属酸化物ガスセンサ及びその製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 永坂友康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006348213
Publication number (International publication number)：2007171207
Application date： Dec. 25, 2006
Publication date： Jul. 05, 2007
Summary：

【課題】熱圧着工程により金属酸化物の微細構造が速い応答速度と高感度センシングのためのガス拡散性及び比表面積が大幅に増加したナノロッド及び/又はナノグレイン構造を有し、多孔性の金属酸化物繊維とセンサ基板との接着性を増大し得る超高感度の金属酸化物ガスセンサ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】センサ電極と、該センサ電極上に形成され、単結晶のナノロッドを含むナノ繊維のネットワーク構造を有する多孔性金属酸化物薄層とを金属酸化物ガスセンサが備えるように構成する。【選択図】図6

Claim (excerpt)：

センサ電極と、該センサ電極上に形成され、単結晶のナノロッドを含むナノ繊維のネットワーク構造を有する多孔性金属酸化物薄層と、を備えることを特徴とする超高感度の金属酸化物ガスセンサ。

IPC (1)：

G01N 27/12

FI (1)：

G01N27/12 C

F-Term (39)：

2G046AA05 , 2G046AA07 , 2G046AA10 , 2G046AA11 , 2G046AA13 , 2G046AA14 , 2G046AA19 , 2G046AA23 , 2G046AA24 , 2G046AA25 , 2G046AA26 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BC05 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046FB02 , 2G046FE02 , 2G046FE03 , 2G046FE07 , 2G046FE09 , 2G046FE10 , 2G046FE11 , 2G046FE12 , 2G046FE15 , 2G046FE16 , 2G046FE18 , 2G046FE22 , 2G046FE24 , 2G046FE25 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE34 , 2G046FE35 , 2G046FE39 , 2G046FE40 , 2G046FE44 , 2G046FE45 , 2G046FE48

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

ガス検出素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-036648 Applicant：徳山曹達株式会社
常温に近い温度で製造され及び動作する、化学的検出材料としての半導体材料の用途
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2003-547926 Applicant：ソニーインターナショナル(ヨーロッパ)ゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング, マックス-プランク-ゲゼルシャフトツゥア-フェデルゥンデルヴィッセンシャフテンエーフォー
無水アンチモン酸亜鉛半導体ガスセンサー及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-059430 Applicant：日産化学工業株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

光電気化学エッチングによる酸化チタンナノロッド構造の創製

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