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J-GLOBAL ID:200903093622980634

常温に近い温度で製造され及び動作する、化学的検出材料としての半導体材料の用途

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2003547926
Publication number (International publication number):2005510711
Application date: Nov. 26, 2002
Publication date: Apr. 21, 2005
Summary:
化学センサ装置は、基板(1)と、基板上に形成され、例えばV2O5等の半導性AxBy化合物からなる1次元ナノ粒子を有するセンサ媒質(3)と、例えば導電率等のセンサ媒質の物理的及び/又は化学的特性の変化を検出する検出手段(2)とを備える。多孔性のセンサ媒質を用いることにより、分析物が感応材料に速く到達でき、したがって、センサの応答が速くなる。センサの選択性及び感度は、1次元ナノ粒子材料に異なるドーパントをドープし、又はドーパント濃度を変更することにより調整できる。分析物、好ましくはアミンに対するセンサ装置の感度は、試料の相対湿度を少なくとも5%高めることにより向上させることができる。
Claim (excerpt):
基板と、 上記基板上に形成され、実質的に、II-VI族半導体、III-V族半導体、金属酸化物半導体、金属硫化物半導体、金属リン化物半導体、金属窒化物、金属セレン化物半導体、金属テルル化物半導体からなるグループから選択される半導性AxBy化合物からなる1次元ナノ粒子を有するセンサ媒質と、 上記センサ媒質の物理的及び/又は化学的特性の変化を検出する検出手段とを備える化学センサ装置。
IPC (3):
G01N27/12 ,  G01N27/04 ,  G01N27/22
FI (5):
G01N27/12 C ,  G01N27/12 A ,  G01N27/12 B ,  G01N27/04 Z ,  G01N27/22 C
F-Term (63):
2G046AA05 ,  2G046AA10 ,  2G046AA11 ,  2G046AA22 ,  2G046AA23 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC03 ,  2G046BC05 ,  2G046BJ04 ,  2G046DC03 ,  2G046DC14 ,  2G046DC16 ,  2G046DC17 ,  2G046DC18 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA09 ,  2G046EB01 ,  2G046FB02 ,  2G046FE02 ,  2G046FE08 ,  2G046FE10 ,  2G046FE12 ,  2G046FE15 ,  2G046FE21 ,  2G046FE22 ,  2G046FE27 ,  2G046FE28 ,  2G046FE33 ,  2G046FE35 ,  2G046FE36 ,  2G046FE37 ,  2G046FE43 ,  2G046FE44 ,  2G046FE45 ,  2G046FE46 ,  2G060AA01 ,  2G060AB03 ,  2G060AB07 ,  2G060AB08 ,  2G060AB16 ,  2G060AB19 ,  2G060AE19 ,  2G060AF08 ,  2G060AF10 ,  2G060AG10 ,  2G060AG15 ,  2G060BA01 ,  2G060BA09 ,  2G060BB09 ,  2G060BB10 ,  2G060BD04 ,  2G060HC08 ,  2G060HC13 ,  2G060HC19 ,  2G060HC21 ,  2G060HC22 ,  2G060HD03 ,  2G060JA01 ,  2G060KA01
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Cited by examiner (7)
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