Pat
J-GLOBAL ID:200903052901117131

カーボンナノチューブパターンの形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5): 中村 智廣 ,  成瀬 勝夫 ,  小泉 雅裕 ,  青谷 一雄 ,  鳥野 正司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004255667
Publication number (International publication number):2006069848
Application date: Sep. 02, 2004
Publication date: Mar. 16, 2006
Summary:
【課題】 機械的強度が強く、下地層や基板との密着性が高く、表面で導電性をもち、さらに下地層や基板との間でも導電性をもつ、カーボンナノチューブパターンを容易に形成する方法を提供する。【解決手段】 カーボンナノチューブが分散媒に分散したカーボンナノチューブ分散液にて基板表面に所望のパターンを印刷し、分散媒を蒸発させてパターン層を形成するパターニング工程と、パターン層を基板表面に固定するパターン固定工程とを含むことを特徴とするカーボンナノチューブパターンの形成方法。パターン固定工程は、感光性有機材料をパターン層内に含浸させる工程と、感光性有機材料が含浸したパターン層を露光する工程と、パターン層表面の感光性有機材料を除去してカーボンナノチューブをパターン層表面に露出させる工程と、パターン層内部の感光性有機材料を硬化させる工程と、を含むことが好ましい。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
カーボンナノチューブが分散媒に分散したカーボンナノチューブ分散液にて基板表面に所望のパターンを印刷し、前記分散媒を蒸発させてパターン層を形成するパターニング工程と、前記パターン層を前記基板表面に固定するパターン固定工程とを含むことを特徴とするカーボンナノチューブパターンの形成方法。
IPC (2):
C01B 31/02 ,  H01B 13/00
FI (2):
C01B31/02 101F ,  H01B13/00 503D
F-Term (26):
4G146AA11 ,  4G146AB07 ,  4G146AC02B ,  4G146AC20B ,  4G146AC23B ,  4G146AD15 ,  4G146AD22 ,  4G146AD26 ,  4G146AD28 ,  4G146BA04 ,  4G146CB02 ,  4G146CB06 ,  4G146CB10 ,  4G146CB11 ,  4G146CB13 ,  4G146CB14 ,  4G146CB23 ,  4G146CB35 ,  4G146CB37 ,  5G323CA05 ,  5H027AA02 ,  5H027BA13 ,  5H050CB07 ,  5H050DA10 ,  5H050EA08 ,  5H050FA16
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)

Return to Previous Page