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J-GLOBAL ID:200903053048637320

X線パネルセンサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長谷川 芳樹 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998199171
Publication number (International publication number):2000028736
Application date: Jul. 14, 1998
Publication date: Jan. 28, 2000
Summary:
【要約】【課題】 良質の画像を得ることができるX線パネルセンサを提供する。【解決手段】 このX線パネルセンサによれば、アナログ回路17a,17b,18a,18b,19は信号処理基板13の上面側に、デジタル回路20,21は下面側に配置されている。アナログ回路を介して出力されるMOS型イメージセンサ5の出力信号に重畳されるべきノイズ、すなわち、上側からアナログ回路に入射するX線のノイズ及び下側からアナログ回路に伝搬してくるデジタル回路及び外部からのノイズは、それぞれX線遮蔽板27及び第1金属薄膜13cによって抑制される。アナログ回路及び及びデジタル回路は信号処理基板13の上下面に搭載されているので、X線パネルセンサ全体の寸法は小型化することができる。
Claim (excerpt):
入射したX線像を蛍光像に変換するシンチレータ及び前記シンチレータにより変換された蛍光像を撮像するMOS型イメージセンサを備えたX線パネルセンサにおいて、前記MOS型イメージセンサがその上側に固定される第1配線基板と、グランド電位を有する第1金属薄膜をその上下面間に有し、前記第1配線基板の下側に対向すると共に前記第1配線基板に電気的に接続されるように配置された第2配線基板と、前記第1及び第2配線基板間に介在しグランド電位を有するX線遮蔽板と、前記第2配線基板の上面側に設けられ前記MOS型イメージセンサからの出力信号をアナログ処理するアナログ回路と、前記第2配線基板の下面側に設けられ前記MOS型イメージセンサの駆動信号のタイミングを生成するデジタル回路と、を備えることを特徴とするX線パネルセンサ。
IPC (2):
G01T 1/20 ,  G01T 1/00
FI (2):
G01T 1/20 Z ,  G01T 1/00 B
F-Term (11):
2G088FF02 ,  2G088GG15 ,  2G088GG19 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ06 ,  2G088JJ08 ,  2G088JJ29 ,  2G088JJ31 ,  2G088JJ33 ,  2G088JJ37 ,  2G088LL11
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
  • 光電変換装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-027838   Applicant:キヤノン株式会社
  • 固体撮像装置とそれを用いたカメラ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-218860   Applicant:ソニー株式会社
  • 特開平2-021285
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Cited by examiner (10)
  • 光電変換装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-027838   Applicant:キヤノン株式会社
  • 固体撮像装置とそれを用いたカメラ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-218860   Applicant:ソニー株式会社
  • 特開平2-021285
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