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J-GLOBAL ID：200903053109965750

多極子場補正方法及び装置

Inventor： 本田 和広 ,  中村 奈津子 ,  ヨアヒム ザッハ
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (2)： 井島 藤治 ,  鮫島 信重
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004299705
Publication number (International publication number)：2006114305
Application date： Oct. 14, 2004
Publication date： Apr. 27, 2006
Summary：

【課題】 本発明は多極子場補正方法及び装置に関するアライメント自動補正方法及び装置に関し、通常の操作員が多極子の機差を意識せずに、機械的・電気的なズレによる多極子のゆがみを補正することができる収差補正器の多極子場による多極子場補正方法及び装置を提供することを目的としている。【解決手段】 多極子からなる収差補正器6を搭載した装置において、荷電粒子を用いて試料表面を観察する場合において、多極子の機械的・電気的ズレによって生じる寄生2極子場と寄生4極子場を補正するため設けられた、寄生2極子場補正装置11a,寄生4極子場補正装置11bと、前記収差補正器のある段のX,Y方向に多極子場を所定量ずらした時における補正値を予め記憶しておく記憶手段12と、該記憶手段12に記憶していた補正量を用いて寄生2極子場と寄生4極子場を補正する補正手段11とを有して構成される。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

多極子からなる収差補正器を搭載した装置において、荷電粒子を用いて試料表面を観察する場合において、多極子の機械的・電気的ズレによって生じる寄生2極子場と寄生4極子場を補正するために、寄生2極子場補正装置と寄生4極子場補正装置とを設ける工程と、 前記収差補正器のある段のX,Y方向に多極子場を所定量ずらした時における補正値を予め記憶手段に記憶しておく工程と、 前記記憶手段に記憶していた補正値を用いて寄生2極子場と寄生4極子場による歪みを補正する工程と、 からなることを特徴とする多極子場補正方法。

IPC (1)：

H01J 37/153

FI (1)：

H01J37/153 B

F-Term (1)：

5C033JJ07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 電子光学系の三次球面収差の補正時に一次、二次および三次光軸の像の変形を除去する方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2000-511180   Applicant：ツェーエーオーエスコレクテッドエレクトロンオプチカルシステムズゲーエムベーハー

Cited by examiner (4)

• 荷電粒子光学装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-030979   Applicant：日本電子株式会社
• 特開平3-276547
  
• 非点収差補正装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-223628   Applicant：日本電子株式会社
• 特開昭58-192254