反射型TFT基板及び反射型TFT基板の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡辺喜平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006031833
Publication number (International publication number)：2007212699
Application date： Feb. 09, 2006
Publication date： Aug. 23, 2007
Summary：

【課題】保護用絶縁膜により長期間にわたり安定に作動させ、かつ、クロストークを防止することができるとともに、製造工程の工程数を削減することによって、製造コストを大幅に低減する。【解決手段】反射型TFT基板1は、基板10と、ゲート電極23及びゲート配線24と、ゲート絶縁膜30と、n型酸化物半導体層40と、チャンネル部41によって隔てられて形成された金属層60と、画素電極67,ドレイン配線パッド68及びゲート配線パッド25が露出した状態で、ガラス基板10の上方を覆う保護用絶縁膜80とを具備し、金属層60が、ソース配線65,ドレイン配線66,ソース電極63,ドレイン電極64及び画素電極67を兼ねる。【選択図】図9

Claim (excerpt)：

基板と、この基板の上方に形成されたゲート電極及びゲート配線と、前記基板,前記ゲート電極及び前記ゲート配線の上方に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート電極の上方の前記ゲート絶縁膜の上方に形成された酸化物層と、前記酸化物層の上方にチャンネル部によって隔てられて形成された金属層と、ソース・ドレイン電極と電気的に接続された画素電極とを具備する反射型TFT基板であって、前記金属層が、少なくとも前記画素電極及び該画素電極と接続された前記ソース・ドレイン電極を兼ねることを特徴とする反射型TFT基板。

IPC (5)：

G02F 1/136 , H01L 29/786 , H01L 21/336 , H01L 21/28 , G09F 9/30

FI (10)：

G02F1/1368 , H01L29/78 618B , H01L29/78 612D , H01L29/78 616V , H01L29/78 616K , H01L29/78 616U , H01L29/78 617L , H01L21/28 301R , H01L21/28 301B , G09F9/30 338

F-Term (86)：

2H092HA05 , 2H092JA26 , 2H092JB07 , 2H092JB57 , 2H092MA14 , 2H092MA16 , 2H092MA18 , 2H092MA37 , 2H092NA27 , 4M104AA03 , 4M104AA09 , 4M104AA10 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB13 , 4M104BB36 , 4M104BB39 , 4M104CC01 , 4M104DD40 , 4M104DD62 , 4M104DD64 , 4M104DD71 , 4M104EE03 , 4M104EE14 , 4M104EE16 , 4M104EE17 , 4M104FF13 , 4M104GG08 , 4M104GG09 , 4M104HH19 , 4M104HH20 , 5C094AA10 , 5C094AA31 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094DA15 , 5F110AA14 , 5F110AA16 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE07 , 5F110EE14 , 5F110EE15 , 5F110EE37 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF30 , 5F110GG01 , 5F110GG06 , 5F110GG25 , 5F110GG32 , 5F110GG43 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK07 , 5F110HK17 , 5F110HK22 , 5F110HK33 , 5F110NN04 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110PP01 , 5F110PP10 , 5F110QQ02 , 5F110QQ05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

液晶表示装置とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-109730 Applicant：廣輝電子股ふん有限公司
液晶表示装置とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-109729 Applicant：廣輝電子股ふん有限公司
液晶表示装置とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-182106 Applicant：廣輝電子股ふん有限公司

Show all

Return to Previous Page