Pat

J-GLOBAL ID：200903053492783562

微小物体捕捉装置、検査、および採取装置、並びに微小物体捕捉方法

Inventor： 賀嶋 淳子 ,  内藤 薫
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991151983
Publication number (International publication number)：1993002137
Application date： Jun. 24, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】捕捉対象以外の微小物体を排除できる捕捉装置を提供することである。【構成】レ-ザ-光源1と、コリメ-タ-レンズ2と、機械的シャッタ-11と、リレーレンズ3と、ダイクロイックミラ-4、11と、対物レンズ5と、レ-ザ-光源6と、コリメ-タ-レンズ7と、機械的シャッタ-12と、リレーレンズ8、10と、リング状のフィルター9とを有する。【効果】レ-ザ-光源6と、リレーレンズ8、10と、リング状のフィルター9とにより、集光位置の回りに、排除用の光束を作る。

Claim (excerpt)：

第1の光源と、上記第1の光源からの光を集光して、光軸上の集光点の近傍にトラップを形成する第1の光学系と、第2の光源と、上記第2の光源からの光により、光軸から見て、上記第1の光学系の集光位置の外側に、光束を形成する第2の光学系とを有することを特徴とする微小物体捕捉装置。