樹脂基板のオゾン溶液処理方法と配線基板の製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：大川宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007135747
Publication number (International publication number)：2008291288
Application date： May. 22, 2007
Publication date： Dec. 04, 2008
Summary：

【課題】樹脂基板の表面平滑性を維持しつつ、めっき被膜の密着強度が高くかつ均一化され、しかもオゾン処理時間を短時間とする。【解決手段】樹脂基板を活性化速度の大きい第1のオゾン溶液で処理した後に、第1のオゾン溶液より活性化速度の小さい第2のオゾン溶液で処理する。第1のオゾン溶液は樹脂基板を浸食し易いため、表面に有機物汚れが付着していても改質層を容易に形成する。その後に第2のオゾン溶液で処理することで、凹凸が平均化され表面平滑性が向上するとともに局所的な浸食のばらつきが平均化される。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

樹脂基板を用意する準備工程と、該樹脂基板を活性化速度の大きい第1のオゾン溶液で処理して第1処理基板とする第1オゾン処理工程と、該第1処理基板を該第1のオゾン溶液より活性化速度の小さい第2のオゾン溶液で処理して第2処理基板とする第2オゾン処理工程と、を行って表面に極性基をもつ改質層を形成することを特徴とする樹脂基板のオゾン溶液処理方法。

IPC (2)：

C23C 18/30 , H05K 3/18

FI (2)：

C23C18/30 , H05K3/18 B

F-Term (27)：

4K022AA13 , 4K022AA15 , 4K022AA16 , 4K022AA17 , 4K022AA18 , 4K022AA24 , 4K022AA26 , 4K022AA42 , 4K022BA08 , 4K022BA14 , 4K022BA35 , 4K022CA05 , 4K022CA06 , 4K022CA14 , 4K022CA22 , 4K022DA01 , 4K022EA01 , 5E343AA17 , 5E343BB24 , 5E343BB67 , 5E343CC73 , 5E343DD33 , 5E343EE39 , 5E343ER02 , 5E343FF16 , 5E343FF23 , 5E343GG02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

無電解めっき材の前処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-114281 Applicant：トヨタ自動車株式会社
樹脂-金属コンポジット層をもつ樹脂基体及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-278538 Applicant：トヨタ自動車株式会社
無電解めっき方法及びめっき部品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-275640 Applicant：トヨタ自動車株式会社, 関東化成工業株式会社

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Cited by examiner (4)

無電解めっき方法及びめっき部品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-275640 Applicant：トヨタ自動車株式会社, 関東化成工業株式会社
無電解めっき素材の前処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-382025 Applicant：トヨタ自動車株式会社, 関東化成工業株式会社
粘着テープの耐剥離性試験方法、および、試験装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-224771 Applicant：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー

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