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J-GLOBAL ID:200903053839863979

球状シリカ粉末の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999065066
Publication number (International publication number):2000264622
Application date: Mar. 11, 1999
Publication date: Sep. 26, 2000
Summary:
【要約】【課題】平均粒径の大きな球状シリカ粉末をその球形度を高めて容易に製造すること。【解決手段】火炎中にシリカ粉末原料を噴射して球状シリカ粉末を製造する方法において、上記シリカ粉末原料が、平均粒径d50=20〜80μm、累積10%粒子径d10=10μm以上、d90/d10≦5(但し、d90は累積90%粒子径である。)の粒度分布を有し、それをキャリアガスに混入させ、そのガス流速を15〜40m/sにして噴射することを特徴とする球状シリカ粉末の製造方法であり、特に、内炎と外炎との間にシリカ粉末原料を噴射することを特徴とするものである。
Claim (excerpt):
火炎中にシリカ粉末原料を噴射して球状シリカ粉末を製造する方法において、上記シリカ粉末原料が、平均粒径d50=20〜80μm、累積10%粒子径d10=10μm以上、d90/d10≦5(但し、d90は累積90%粒子径である。)の粒度分布を有し、それをキャリアガスに混入させ、そのガス流速を15〜40m/sにして噴射することを特徴とする球状シリカ粉末の製造方法。
IPC (3):
C01B 33/18 ,  H01L 23/29 ,  H01L 23/31
FI (2):
C01B 33/18 Z ,  H01L 23/30 R
F-Term (14):
4G072AA25 ,  4G072BB05 ,  4G072DD03 ,  4G072GG03 ,  4G072LL05 ,  4G072MM38 ,  4G072MM40 ,  4G072TT01 ,  4G072TT02 ,  4G072UU01 ,  4G072UU09 ,  4M109AA01 ,  4M109EB13 ,  4M109EB16
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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