電子放出素子、及びその製造方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：原謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000292949
Publication number (International publication number)：2002100280
Application date： Sep. 26, 2000
Publication date： Apr. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】配列方向が揃ったエミッタ電極を有し、電子放出特性の均一性に優れた電界放出型の電子放出素子、並びにその製造方法を提供する。【解決手段】電子源アレイ14は、アルミニウム基板の一面側を陽極酸化してなる細孔12を備えた表面膜11bと、陽極酸化されずに残ったカソード電極層11aとの重層構造体11、並びにカーボンナノチューブなどの微細繊維状物質13から構成されている。表面層11bであるアルミナ膜に形成される複数の細孔12は規則的で、その伸長方向が揃っており、上記微細繊維状物質13はいずれもこの細孔12の伸長方向に沿って配列されている。また、微細繊維状物質13の分散液中に重層構造体11を浸漬し、所定の磁界を印加することで、微細繊維状物質13を配向させ、細孔12内に誘引することができる。

Claim (excerpt)：

伸長方向が揃った複数の細孔を表面に有し、さらに、この細孔の底部側に配された導電電極部を含んでなる支持体と、磁界の印加により上記細孔の伸長方向に沿うように配向され、該細孔内に、上記導電電極部と電気的に接続された状態で挿入された、針状の電極部材とを含んでなることを特徴とする電子放出素子。

IPC (4)：

H01J 1/304 , H01J 9/02 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (4)：

H01J 9/02 B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C , H01J 1/30 F

F-Term (7)：

5C031DD17 , 5C036EE14 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EG02 , 5C036EG12 , 5C036EH26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

電子放出素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-005868 Applicant：松下電器産業株式会社, 中山喜萬, 大研化学工業株式会社
カ-ボンナノチュ-ブを含む物を製造するための方法および切り取られたカ-ボンナノチュ-ブを含むデバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-015645 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
接着性カ-ボンナノチュ-ブ膜を有するデバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-266103 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

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