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J-GLOBAL ID:200903054488237940
EUVリソグラフィ装置の除染をする方法および装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001375879
Publication number (International publication number):2002261001
Application date: Dec. 10, 2001
Publication date: Sep. 13, 2002
Summary:
【要約】【課題】EUVリソグラフィ装置の除染をする方法および装置【解決手段】EUVリソグラフィ装置は内部に真空または不活性ガスを有しているものの、炭化水素および/またはその他の炭素化合物が装置内部に存在するのを完全に防止することはできない。こうした炭素化合物は光学部材の汚染につながり、それによって光学部材は反射性を失ってしまう。こうした事態に対処するため、EUVリソグラフィ装置の作動中、例えば水晶マイクロバランスによって継続的に汚染度を判定することが提案される。汚染度に依存して、リソグラフィ装置の内部に酸素が供給される。酸素は露光放射と結びついてリソグラフィ装置の作動中に汚染を再び分解する。EUVリソグラフィ装置はそのために少なくとも1つの測定装置(3)と、これと接続された管理・制御装置(4)とを備えており、管理・制御装置はさらに酸素供給部(5a)と接続されている。
Claim (excerpt):
EUVリソグラフィ装置の除染をする方法であって、最新の汚染度を測定する第1の工程と、少なくとも1つの所定の閾値と汚染度を比較する第2の工程と、リソグラフィ装置への酸素供給量を適合化する第3の工程と、前記第1ないし第3の工程を反復する第4の工程とを具備し、すべての前記工程を露光動作中に実行する方法。
IPC (2):
H01L 21/027
, G03F 7/20 503
FI (4):
G03F 7/20 503
, H01L 21/30 503 G
, H01L 21/30 517
, H01L 21/30 531 A
F-Term (13):
2H097CA15
, 2H097LA10
, 5F046AA22
, 5F046BA03
, 5F046CB02
, 5F046DA01
, 5F046DA12
, 5F046DA27
, 5F046DB14
, 5F046DC08
, 5F046GA03
, 5F046GA14
, 5F046GB01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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露光装置とデバイス製造方法、ならびに該露光装置の光学素子クリーニング方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-023278
Applicant:キヤノン株式会社
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電子線投影露光用レチクル及び電子線露光装置及び洗浄方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-131522
Applicant:株式会社ニコン
-
露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-081300
Applicant:株式会社ニコン
-
投影光学系検査装置及び同装置を備えた投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-083724
Applicant:株式会社ニコン
-
露光装置及び該装置を用いた露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-263679
Applicant:株式会社ニコン
-
レンズシステム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-322754
Applicant:アーエスエムリソグラフィベスローテンフェンノートシャップ
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特開平2-086128
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超臨界流体汚染モニタ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-010281
Applicant:ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
-
投影露光装置、露光方法、半導体デバイスの製造方法、および投影光学系の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-106487
Applicant:株式会社ニコン
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