露光装置及び該装置を用いた露光方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998263679
Publication number (International publication number)：2000100685
Application date： Sep. 17, 1998
Publication date： Apr. 07, 2000
Summary：

【要約】【目的】ハーフミラー等の光束を振幅分割する光学部材を用いずとしても、例えば軟X線領域の波長を持つ露光光の検出し、各種の計測が実現できる露光装置を提供にある。【構成】X線を発生させるX線光源と、該X線光源からのX線をマスクに導く照明系とを有し、前記マスクのパターンを感光性基板へ転写する露光装置において、前記照明系は、複数の反射ミラーを有し、前記複数の反射ミラーのうちの少なくとも1つ反射ミラーの反射面に関して、前記X線の照射による光電効果に伴う電気的な特性を検出する検出装置を配置した構成とした。

Claim (excerpt)：

X線を発生させるX線光源と、該X線光源からのX線をマスクに導く照明系とを有し、前記マスクのパターンを感光性基板へ転写する露光装置において、前記照明系は、複数の反射ミラーを有し、前記複数の反射ミラーのうちの少なくとも1つ反射ミラーの反射面に関して、前記X線の照射による光電効果に伴う電気的な特性を検出する検出装置を配置したことを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 , G02B 17/00 , G03F 7/20 503

FI (4)：

H01L 21/30 531 A , G02B 17/00 A , G03F 7/20 503 , H01L 21/30 531 M

F-Term (29)：

2H087KA21 , 2H087PA01 , 2H087QA02 , 2H087QA06 , 2H087QA14 , 2H087TA01 , 2H087TA08 , 2H097AA03 , 2H097AB09 , 2H097BA03 , 2H097BB01 , 2H097CA15 , 2H097GA43 , 2H097GB01 , 2H097LA10 , 5F046AA06 , 5F046AA08 , 5F046CA04 , 5F046CB02 , 5F046CC04 , 5F046DA02 , 5F046DB05 , 5F046DB10 , 5F046DB12 , 5F046DC02 , 5F046DC06 , 5F046GA04 , 5F046GA11 , 5F046GA12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

極紫外線縮小投影露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-072840 Applicant：株式会社ソルテック
特開平3-155100
反射鏡およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-203921 Applicant：株式会社ニコン

Show all

Return to Previous Page