面型光素子、面型光素子実装体、その作製方法、およびそれを用いた光配線装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：加藤一男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000218163
Publication number (International publication number)：2002033546
Application date： Jul. 19, 2000
Publication date： Jan. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】部品点数の増加やプロセス制御性の向上を必要とせずに、光導波体と面型光素子のアライメント精度を向上させ、光導波体の固定作業も容易にして生産性を向上させ、低コスト化を図る面型光素子である。【解決手段】面型光素子5の表面に、面型光素子5との光結合が可能なように光導波体16を差し込んで固定するためのガイド穴4が形成される。ガイド穴4は、光感光性あるいは電子ビーム硬化性を持ちホトリソグラフィでパターニングすることで選択的に硬化が可能な厚膜材料3で形成してある。

Claim (excerpt)：

発光または受光が可能な面型光素子であって、光導波体を該面型光素子との光結合が可能なように差し込んで固定するためのガイド穴を、該面型光素子の表面に、光感光性あるいは電子ビーム硬化性を持ちホトリソグラフィでパターニングすることで選択的に硬化が可能な厚膜材料で形成してあることを特徴とする面型光素子。

IPC (4)：

H01S 5/022 , G02B 6/42 , H01L 31/0232 , H01S 5/183

FI (4)：

H01S 5/022 , G02B 6/42 , H01S 5/183 , H01L 31/02 C

F-Term (26)：

2H037AA01 , 2H037BA02 , 2H037BA05 , 2H037BA11 , 2H037BA14 , 2H037DA04 , 2H037DA06 , 2H037DA11 , 2H037DA17 , 5F073AA65 , 5F073AA74 , 5F073AB17 , 5F073BA09 , 5F073CA04 , 5F073CB22 , 5F073CB23 , 5F073DA23 , 5F073EA29 , 5F073FA07 , 5F073FA13 , 5F088BA18 , 5F088BB10 , 5F088EA02 , 5F088EA09 , 5F088JA14 , 5F088JA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

面型光デバイス及び光ファイバとの光結合方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-016704 Applicant：古河電気工業株式会社, 技術研究組合新情報処理開発機構
特開平1-316710
光ファイバと光電子素子との受動的位置合わせのための方法およびデバイス
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-571152 Applicant：コミツサリアタレネルジーアトミーク

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