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J-GLOBAL ID:200903055047824286

極低温冷却装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 高矢 諭 ,  牧野 剛博 ,  松山 圭佑
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003190886
Publication number (International publication number):2005024184
Application date: Jul. 03, 2003
Publication date: Jan. 27, 2005
Summary:
【課題】冷凍機に起因する振動が、クライオスタット全体や被冷却体に伝わるのを防止する。【解決手段】冷凍機10のコールドヘッド18を、クライオスタット30とは別に設けたサポートステージ50に固定して、その荷重を支持すると共に、被冷却体8の荷重を支持する低振動ステージ41、42を、クライオスタット30のトップフランジ31に固定する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
冷凍機を用いて冷却されるクライオスタットを備えた極低温冷却装置において、 冷凍機のコールドヘッドが固定され、その荷重を支持する、クライオスタットとは別に設けられたサポートステージと、 クライオスタットに固定され、被冷却体の荷重を支持する低振動ステージと、 を備えたことを特徴とする極低温冷却装置。
IPC (1):
F25B9/00
FI (2):
F25B9/00 Z ,  F25B9/00 J
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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