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J-GLOBAL ID：200903055127281321

ポジ型放射感応性混合物

Inventor： クラウス、ユルゲン、シベラ ,  増 田 誠 也 ,  木 下 義 章 ,  工 藤 隆 範 ,  末 廣 なつみ ,  ムニラチュナ、パドマナバン ,  岡 崎 博 ,  遠 藤 元
Applicant, Patent owner： ヘキストジャパン株式会社
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993025751
Publication number (International publication number)：1994242605
Application date： Feb. 15, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 アルカリ水溶液で現像でき、安定した酸潜像を有する、半導体構造製造用の、新規な、短波長UV領域で高い放射感応性を有する混合物を提供すること。【構成】 必須成分として、a)水に不溶かつアルカリ水溶液に可溶な結合剤、b)酸により開裂し得る結合を少なくとも一つ有する化合物、c)放射により酸を発生する化合物、及びd)塩基性アンモニウム化合物を含むことを特徴とするポジ型放射感応性混合物。

Claim (excerpt)：

必須成分として、a)水に不溶かつアルカリ水溶液に可溶な結合剤、b)酸により開裂し得る結合を少なくとも一つ有する化合物、c)放射により酸を発生する化合物、及びd)塩基性アンモニウム化合物、を含むことを特徴とする、ポジ型放射感応性混合物。

IPC (5)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

• 特開昭63-149640
  
• 特開平3-103854
  
• 特開平3-153257
  
• 特開平4-051243
  
• 特開昭63-228144
  
• 特開昭62-160441
  
• 特開昭60-173545
  
• レジスト材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-285775   Applicant：日本電気株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-073169   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 放射感受性の組成物及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-304792   Applicant：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド