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J-GLOBAL ID：200903055307931030

有機電界発光素子の製造装置及び製造方法

Inventor：
棚村 満

About 棚村 満

, 
佐藤 佳晴

About 佐藤 佳晴


Applicant, Patent owner：
三菱化学株式会社

About 三菱化学株式会社


Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997016564
Publication number (International publication number)：1998214682
Application date： Jan. 30, 1997
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：
【要約】【課題】 発光寿命特性に優れた有機電界発光素子を量産性良く、低コストで効率的に製造する。【解決手段】 作業用真空室22とロボットアーム22bを備える搬送用真空室22aとが、ゲートバルブ22dで連結された移送及び蒸着用ユニットをゲートバルブ23cで複数個連結した有機電界発光素子の製造装置。この製造装置により、基板を大気に晒すことなく、基板上に有機発光層を含む層状堆積物を形成しかつシーリングを行う。【効果】 有機電界発光素子を陽極のパターン形成後からシーリングまでの各工程及びその移行工程も含めて一貫して基板を大気に晒すことなく実施することで、各層状堆積物が大気中の水分や酸素に接触するのを防止して、発光寿命特性に優れた有機電界発光素子を生産性良く、かつ低コストで製造できる。ユニットの増設も容易に行える。
Claim (excerpt)：
基板上に複数の層状堆積物を設けてなる有機電界発光素子を製造するための装置において、基板の搬入口及び搬出口を有した搬送用真空室と、該搬送用真空室内に真空伝達遮断可能かつ前記基板が通過可能なバルブを介して連なっている作業用真空室と、該搬送用真空室内に設置されており、基板を、前記搬入口から該作業用真空室内に移送し、かつ該作業用真空室から前記搬出口へ移送する移送手段と、該作業用真空室内に設けられた、該層状堆積物形成用処理手段と、を有する移送及び処理用の第1ないし第nのユニットを備えた有機電界発光素子製造装置であって、第1のユニットの搬入口から該製造装置内に導入された基板が該ユニットを通って第nのユニットまで移送されるように、基板移送方向上流側のユニットの搬出口が基板移送方向下流側のユニットの搬入口に対し接続されていることを特徴とする有機電界発光素子の製造装置。
IPC (3)：
H05B 33/00 ,  C23C 14/56 ,  H05B 33/10
FI (3)：
H05B 33/00 ,  C23C 14/56 F ,  H05B 33/10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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