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J-GLOBAL ID：200903055377888582

表面品質を決定するためのデバイスおよび方法

Inventor：
ペーター・シュヴァルツ

About ペーター・シュヴァルツ

, 
ウヴェ・シュペリング

About ウヴェ・シュペリング


Applicant, Patent owner：
ビック-ガルトナー・ゲーエムベーハー

About ビック-ガルトナー・ゲーエムベーハー


Agent (1)： 志賀 正武 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000201360
Publication number (International publication number)：2001041888
Application date： Jul. 03, 2000
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：
【要約】【課題】 信頼性高い評価を行い得るような表面品質の測定デバイスの提供。【解決手段】 表面品質を定量的に決定するためのデバイスであって、光学システム30と、制御手段と、出力手段と、を具備してなり、光学システム30は、照光手段3を有した第1光学手段2と、光センサ13を有してなる第2光学手段10と、を備えてなり、照光手段3が発光ダイオードとされた光源を有し、照光手段3からの光は、青色、緑色、赤色成分を含有したスペクトル特性を有し、照光手段3と光センサ13との間の経路内に、フィルタ9が配置され、フィルタ9は、スペクトル特性が所定分布に近づくように、照光手段3からの光を変更し、評価手段が反射光を評価することによって、表面8を特性づける特性パラメータを決定される。
Claim (excerpt)：
表面品質を定量的に決定するためのデバイスであって、光学システム(30,31,32)と;測定シーケンスを制御するとともに測定結果を評価するための制御評価手段であって、少なくとも1つのプロセッサデバイス(60)と少なくとも1つのメモリ手段(61)とを備えた制御評価手段と;出力手段(65)と;を具備してなり、前記光学システムは、少なくとも1つの照光手段(3,3a,3b,3c)を有し、測定されるべき表面の一部をなす被測定表面に対して所定角度(18)でもって光を入射させるよう配置された第1光学手段(2,2a,2b,2c)と、前記被測定表面に対して所定角度(17)をなすようにして配置され、前記被測定表面(8)によって反射された反射光を受領するとともに、該反射光を特性づける電気測定信号を出力する少なくとも1つの光センサ(13)を有してなる第2光学手段(10,10a,10b,10c)と、を備えてなり、前記照光手段(3,3a,3b,3c)が、発光ダイオードとされた少なくとも1つの光源を有し、前記照光手段(3,3a,3b,3c)から放出される前記光は、好ましくは少なくとも青色スペクトル成分と緑色スペクトル成分と赤色スペクトル成分とを含有したスペクトル特性(21,23,24)を有しているものとして形成され、前記照光手段(3,3a,3b,3c)と前記光センサ(13)との間の経路内に、フィルタ手段(6,9)が配置され、該フィルタ手段は、所定のフィルタ特性(22)に基づいて、得られるスペクトル特性(24)が所定スペクトル分布(23,24)に実質的に近づくように、前記照光手段からの前記光のスペクトル特性(21)を変更し、前記評価手段(60)は、前記反射光を評価することによって、前記表面を特性づける少なくとも1つの特性パラメータを決定することを特徴とするデバイス。
IPC (3)：
G01N 21/57 ,  G01N 21/47 ,  G01J 3/51
FI (3)：
G01N 21/57 ,  G01N 21/47 Z ,  G01J 3/51
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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