硬質被膜及び積層硬質被膜

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鎌田文二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998139915
Publication number (International publication number)：1999335813
Application date： May. 21, 1998
Publication date： Dec. 07, 1999
Summary：

【要約】【課題】高硬度でより耐摩耗性等の耐久性の高い硬質被膜を形成しようとするものである。【解決手段】 JCPDS記載の格子定数に対し、0.997〜1.005倍の格子定数を有し、膜厚が0.01〜50μmである気相合成法によって基材表面に形成された金属窒化物から構成する。

Claim (excerpt)：

JCPDS記載の格子定数に対し、0.997〜1.005倍の格子定数を有し、膜厚が0.01〜50μmである気相合成法によって基材表面に形成された金属窒化物からなる硬質被膜。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

TiNバリア膜の製造方法およびその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-093622 Applicant：新日本製鐵株式会社
硬質皮膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-198706 Applicant：株式会社神戸製鋼所
被覆硬質部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-034612 Applicant：日立ツール株式会社

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