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J-GLOBAL ID:200903056420414146

静電容量型加速度センサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 樋口 武尚
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995119416
Publication number (International publication number):1996313551
Application date: May. 18, 1995
Publication date: Nov. 29, 1996
Summary:
【要約】【目的】 構造を簡単とし、かつ、浮遊容量の影響を受け難く、廉価な製造コストで長寿命とすること。【構成】 両端を固定部に固着した弾性体からなる梁6に対して、梁6の両取付点を直線で結ぶ直線上から離れた所定の位置に重心が存在する質量部7を配設し、加速度によって質量部7に回動力を付与する。質量部7に加わった回動力は梁6の変位となり、質量部7の一方の面に形成された可動電極8とその可動電極8に対向する複数に分割してなる分割固定電極3a,3b,3cとの間に静電容量の変化が発生し、その静電容量の変化が加速度の大きさとなる。
Claim (excerpt):
固定部に両端が固着された弾性体からなる梁に取付けられ、前記梁の両取付点を直線で結ぶ直線上から離れた所定の位置に重心が存在する質量部と、前記質量部の一方の面に形成された所定の面積を有する可動電極と、前記可動電極に対向した固定部に形成され、前記可動電極に対向する面積の範囲に近似する範囲を複数に分割してなる分割固定電極とを具備することを特徴とする静電容量型加速度センサ。
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (7)
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