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J-GLOBAL ID：200903056820038984

微小構造体の検査装置、微小構造体の検査方法および微小構造体の検査プログラム

Inventor：
奥村 勝弥

About 奥村 勝弥

, 
松本 俊行

About 松本 俊行

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池内 直樹

About 池内 直樹

, 
八壁 正巳

About 八壁 正巳


Applicant, Patent owner：
株式会社オクテック

About 株式会社オクテック

, 
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (2)： 八島 耕司 ,  木村 満
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005160701
Publication number (International publication number)：2006313137
Application date： May. 31, 2005
Publication date： Nov. 16, 2006
Summary：
【課題】 簡易な方式で微小な可動部を有する構造体を精度よく検査する検査装置、検査方法および検査プログラムを提供する。【解決手段】 テスト音波をスピーカ2から出力する。スピーカ2から出力される疎密波であるテスト音波の到達すなわち空気振動により検出チップTPの微小構造体である3軸加速度センサの可動部は動く。この動きに基づいて変化する抵抗値の変化を、プローブ針4を介して与えられる出力電圧に基づいて測定する。制御部20は、測定された特性値すなわち測定データに基づいて3軸加速度センサの特性を判定する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板上に形成された可動部を有する、少なくとも1つの微小構造体の特性を評価する微小構造体の検査装置であって、 テスト時において前記微小構造体に対してテスト音波を出力する音波発生手段を備え、 前記音波発生手段により出力された前記テスト音波に応答した前記微小構造体の可動部の動きを検出し、検出結果に基づいて前記微小構造体の特性を評価する、微小構造体の検査装置。
IPC (4)：
G01P 21/00 ,  B81C 5/00 ,  G01N 29/00 ,  H01L 29/84
FI (5)：
G01P21/00 ,  B81C5/00 ,  G01N29/00 ,  H01L29/84 ,  H01L29/84 Z
F-Term (16)：
2G047AC10 ,  2G047CA01 ,  2G047CB01 ,  2G047EA10 ,  2G047GD02 ,  4M112AA01 ,  4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA27 ,  4M112CA33 ,  4M112FA20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (10)
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