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J-GLOBAL ID:200903057045548403

表面品質の定量評価のためのデバイス

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 志賀 正武 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000361827
Publication number (International publication number):2001183304
Application date: Nov. 28, 2000
Publication date: Jul. 06, 2001
Summary:
【要約】【課題】 表面品質の再現性ある測定かつ定量的評価を行い得るようなデバイスを提供すること。【解決手段】 表面品質を定量的に決定するためのデバイス1であって、光源3を有した第1光学手段1と;被測定表面8による反射光を受領し、光センサ13を備えている第2光学手段10と;測定シーケンスを制御し測定結果を評価する制御評価手段と;出力手段と;を具備してなり、光源3が発光ダイオードとされ、光源3からの光は、青色、緑色、赤色スペクトル成分とを含有し、光源3と光センサ13との間の経路内にフィルタ9が配置され、評価手段は、反射光を評価することにより表面を特性づける特性パラメータを決定する。
Claim (excerpt):
表面品質を定量的に決定するためのデバイスであって、測定されるべき表面の一部をなす被測定表面に対して所定角度をなす向きとされた光源を有した少なくとも1つの照光手段を備えている第1光学手段と;前記被測定表面に対して所定角度をなす向きとされていて前記被測定表面によって反射された反射光を受領するとともに、該反射光を特性づける電気測定信号を出力する少なくとも1つの光センサを備えている第2光学手段と;測定シーケンスを制御するとともに測定結果を評価するための制御評価手段であって、少なくとも1つのプロセッサデバイスと少なくとも1つのメモリ手段とを備えた制御評価手段と;出力手段と;を具備してなり、前記照光手段が、発光ダイオードとされた少なくとも1つの光源を有し、前記照光手段から放出される前記光は、好ましくは少なくとも可視スペクトルのうちの青色スペクトル成分と緑色スペクトル成分と赤色スペクトル成分とを含有したスペクトル特性を有しているものとして形成され、前記光源と前記光センサとの間の経路内に、フィルタ手段が配置され、前記評価手段は、前記反射光を評価することによって、前記表面を特性づける少なくとも1つの特性パラメータを決定することを特徴とするデバイス。
IPC (7):
G01N 21/95 ,  G01J 3/10 ,  G01J 3/51 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/55 ,  G01N 21/64
FI (7):
G01N 21/95 Z ,  G01J 3/10 ,  G01J 3/51 ,  G01N 21/01 D ,  G01N 21/27 A ,  G01N 21/55 ,  G01N 21/64 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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