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J-GLOBAL ID：200903057117132231

局所空間の汚染防止方法及び装置

Inventor： 藤井 敏昭
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 吉嶺 桂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996031230
Publication number (International publication number)：1997168722
Application date： Jan. 26, 1996
Publication date： Jun. 30, 1997
Summary：

【要約】【課題】 有機性ガスによる汚染を効果的に防止できる局所空間の汚染防止方法と装置を提供する。【解決手段】 局所空間の有機性ガスによる汚染を防止する装置において、前記局所空間例えばクリーンルーム11の一部を光触媒材13で構成すると共に、該光触媒材に光を照射する手段16を設けたものであり、前記光触媒としてはTiO2 又はTiO2 にPt、Ag、Pd、RuO2 、Co3 O4 から選ばれた一種以上を添加して用いることができ、また、光を照射する手段としては紫外線ランプ16、蛍光灯等を用いることができ、これにより、発生した有害な有機性ガス19を無害なガス20として空間内を超清浄化できる。

Claim (excerpt)：

局所空間における有機性ガスによる汚染を防止する方法において、前記局所空間の一部を光触媒で構成し、該光触媒に光を照射することを特徴とする局所空間の汚染防止方法。

IPC (9)：

B01D 53/86 ZAB ,  B01D 53/86 ,  B01J 21/06 ,  B01J 23/42 ,  B01J 23/46 301 ,  B01J 23/50 ,  B01J 23/75 ,  H01L 21/02 ,  B01L 1/04

FI (9)：

B01D 53/36 ZAB G ,  B01J 21/06 A ,  B01J 23/42 A ,  B01J 23/46 301 A ,  B01J 23/50 A ,  H01L 21/02 D ,  B01L 1/04 ,  B01D 53/36 J ,  B01J 23/74 311 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 基材又は基板表面の汚染防止方法と装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-222775   Applicant：株式会社荏原総合研究所, 株式会社荏原製作所
• 建築材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-146564   Applicant：株式会社竹中工務店, 藤嶋昭, 橋本和仁
• 固体表面の汚れ浄化方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-222169   Applicant：石原産業株式会社