Pat
J-GLOBAL ID:200903057128713040
センサチップおよびセンサチップの製造方法並びにそのセンサチップを用いたセンサ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
柳田 征史
, 佐久間 剛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003074903
Publication number (International publication number):2004279364
Application date: Mar. 19, 2003
Publication date: Oct. 07, 2004
Summary:
【課題】金属微粒子表面の局在プラズモン共鳴状態を光により検知して金属微粒子近傍の試料を分析するセンサに用いられるセンサチップにおいて、ノイズを小さくし、高い感度を得る。【解決手段】表面に対して略垂直な方向に互いに独立する複数の第1の微細孔を有する、ポリスチレンからなる保持部材と、複数の微細孔の内部それぞれに互いに独立して保持される金(Au)からなる金属微粒子とから構成する。微細孔は、ポリスチレン基板11表面11a上に、陽極酸化アルミナ膜12を設け、この陽極酸化アルミナ膜12をマスクにして、ポリスチレン基板11表面11aをエッチングすることにより得る。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
金属微粒子表面の局在プラズモン共鳴状態を光により検知することにより金属微粒子近傍の試料の特性を分析するセンサに用いられるセンサチップであって、
表面に対して略垂直な方向に互いに独立する複数の微細孔を有する保持部材と、前記複数の微細孔の内部それぞれに互いに独立して保持される金属微粒子とからなり、前記保持部材が、密度が均一な透明誘電体からなるものであることを特徴とするセンサチップ。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (8):
2G059BB04
, 2G059BB09
, 2G059CC17
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE04
, 2G059JJ01
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
-
電子放出素子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-042193
Applicant:キヤノン株式会社
-
力センサ,温度センサおよび温度・力センサ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-165269
Applicant:富士電機株式会社
-
センサおよびこれを利用した測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-136994
Applicant:株式会社日立製作所
Cited by examiner (3)
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電子放出素子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-042193
Applicant:キヤノン株式会社
-
力センサ,温度センサおよび温度・力センサ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-165269
Applicant:富士電機株式会社
-
センサおよびこれを利用した測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-136994
Applicant:株式会社日立製作所
Article cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
-
OPTICAL PROPERTIES OF SQUARE LATTICES OF GOLD NANOPARTICLES”
Cited by examiner (2)
-
OPTICAL PROPERTIES OF SQUARE LATTICES OF GOLD NANOPARTICLES”
-
OPTICAL PROPERTIES OF SQUARE LATTICES OF GOLD NANOPARTICLES”
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