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J-GLOBAL ID：200903057302404280

紫外線センサ

Inventor： 青木 和夫 ,  氏家 建和 ,  島村 清史 ,  ガルシア ビジョラ エンカルナシオン アントニア
Applicant, Patent owner： 株式会社光波 ,  独立行政法人物質・材料研究機構
Agent (1)： 平田 忠雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007236278
Publication number (International publication number)：2009070950
Application date： Sep. 12, 2007
Publication date： Apr. 02, 2009
Summary：

【課題】 紫外線の感度を上昇させることを可能とし、製作コストを高騰させることなく、汎用性の高い普及型の紫外線センサを提供する。【解決手段】 紫外線センサ1は、n型β-Ga2O3単結晶基板2と、n型β-Ga2O3単結晶基板2が紫外線を受光して励起された電流あるいは電圧を検出する検出電極3a,3bとを備えている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

β-Ga2O3単結晶層よりなる受光部と、 前記受光部が紫外線を受光して励起された電流あるいは電圧を検出する検出電極と、 を備えたことを特徴とする紫外線センサ。

IPC (2)：

H01L 31/026 ,  H01L 31/00

FI (2)：

H01L31/08 M ,  H01L31/00 B

F-Term (7)：

5F088AA11 ,  5F088AB01 ,  5F088BA01 ,  5F088BB06 ,  5F088CB06 ,  5F088FA05 ,  5F088LA05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 紫外線センサ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-039083   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• ダイヤモンド紫外線センサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-247774   Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構
• ダイヤモンド紫外線センサー素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-329253   Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構