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J-GLOBAL ID：200903086166003854

ダイヤモンド紫外線センサー

Inventor：
小出 康夫

About 小出 康夫

, 
メイヨン リョウ

About メイヨン リョウ

, 
ホセ アントニオ アルバレッツ

About ホセ アントニオ アルバレッツ


Applicant, Patent owner：
独立行政法人物質・材料研究機構

About 独立行政法人物質・材料研究機構


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005247774
Publication number (International publication number)：2007066976
Application date： Aug. 29, 2005
Publication date： Mar. 15, 2007
Summary：
【課題】従来のダイヤモンド半導体を受光部に用いた紫外線センサー素子は、紫外線を検出するために必ず印加電圧が必要であり、印加電圧が無くても、即ちゼロ電圧であっても紫外線を検出することはできなかった。【解決手段】受光部材料の電気抵抗の変化又は光電流の変化によって、受光部に照射される光を検出する、2端子電極を持つショットキー型光センサー素子であって、表面伝導層を除去したダイヤモンド表面を電極との接合界面に用い、ショットキー性電極に高融点金属元素のカーバイド化合物又は窒化物を単一層として用い、オーム性電極にダイヤモンドと反応することによってカーバイド又は炭素との固溶体を形成することができる単一金属を用いた構造を持ち、電圧ゼロで駆動するダイヤモンド紫外線センサー。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
受光部材料の電気抵抗の変化又は光電流の変化によって、受光部に照射される光を検出す る、2端子電極を持つショットキー型光センサー素子であって、 表面伝導層を除去したダイヤモンド表面を電極との接合界面に用い、ショットキー性電極 に高融点金属元素のカーバイド化合物又は窒化物を単一層として用い、 オーム性電極にダイヤモンドと反応することによってカーバイド又は炭素との固溶体を形 成することができる単一金属を用いた構造を持ち、電圧ゼロで駆動するダイヤモンド紫外 線センサー。
IPC (2)：
H01L 31/108 ,  G01J 1/02
FI (2)：
H01L31/10 C ,  G01J1/02 G
F-Term (8)：
2G065AB05 ,  2G065BA02 ,  2G065DA06 ,  2G065DA20 ,  5F049MA05 ,  5F049MB03 ,  5F049SE05 ,  5F049WA05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (12)
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