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J-GLOBAL ID：200903003785229147
紫外線センサ及びその製造方法
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004039083
Publication number (International publication number)：2005229078
Application date： Feb. 16, 2004
Publication date： Aug. 25, 2005
Summary：
【課題】 長期間にわたって安定した応答特性が得られ、且つ低コストで製造可能な紫外線センサ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 基板1上に検知層となる絶縁性ダイヤモンド層2を形成し、この絶縁性ダイヤモンド層2の表面上に1対の櫛形電極3a及び3bを形成した後、絶縁性ダイヤモンド層2の表面における櫛形電極3a及び3bが形成されていない領域を疎水化したダイヤモンド素子を、金属製マウント5に搭載し、櫛形電極3a及び3bと金属製マウント5の端子4a及び4bとを夫々金線6でワイヤボンディングすることにより電気的に接続して紫外線センサにする。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板と、前記基板上に形成され検知層となるダイヤモンド層と、前記ダイヤモンド層上に形成された少なくとも1対の表面電極と、を有し、前記ダイヤモンド層の表面における検知領域のうち少なくとも前記表面電極が形成されていない領域に疎水化処理が施されていることを特徴とする紫外線センサ。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (8)：
5F088AA11
, 5F088AB02
, 5F088BA10
, 5F088BA11
, 5F088CB20
, 5F088FA11
, 5F088JA10
, 5F088LA05
Cited by applicant (2)
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紫外線受光デバイスおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-142975
Applicant：出光石油化学株式会社
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ダイヤモンド膜紫外線センサ及びセンサアレイ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平10-052548
Applicant：株式会社神戸製鋼所, 浜松ホトニクス株式会社
Cited by examiner (7)
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紫外線受光デバイスおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-142975
Applicant：出光石油化学株式会社
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光強度測定装置及び光強度測定方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2002-010738
Applicant：株式会社神戸製鋼所
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特開昭61-207062
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