半導体不良原因絞込み方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：武顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999026201
Publication number (International publication number)：2000223538
Application date： Feb. 03, 1999
Publication date： Aug. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】ウェーハの電気検査の結果を有効に活用し、不良原因を的確かつ迅速に絞り込むことができるようにする。【解決手段】ウェーハの電気検査の結果であるダイ毎の良品,不良品のカテゴリからなるウェーハマップ10を用い、不良カテゴリの隣接性からプロセスマージン起因領域11と異物起因領域11とに領域分けし、このウェーハ21の、例えば、寸法検査の測定点を、プロセスマージン起因領域11に属する測定点32と異物起因領域11に属する測定点31とに仕分けする。そして、プロセスマージン起因領域11に属する測定点32での寸法測定値のヒストグラム13と異物起因領域11に属する測定点31での寸法測定値31のヒストグラム14とを作成し、これらヒストグラム13,14を比較することにより、プロセスマージン起因不良あるいは異物起因不良の原因を絞り込む。

Claim (excerpt)：

半導体のウェーハ製造工程において、製造工程における半導体のウェーハの電気検査の結果である良品,不良品のウェーハマップからそのマップ成分に基づいて該ウェーハを複数の領域に領域分けし、パラメトリック検査や寸法検査,異物検査,外観検査,膜厚検査,合わせ検査などの該ウェーハのインライン検査の結果を不良起因成分に基づいて領域分けされた夫々の該領域毎に仕分けし、仕分けされた該各領域毎の該インライン検査の結果のデータ分布を互いに比較して半導体などの不良原因を絞り込むことを特徴とする半導体不良原因絞込み方法。

F-Term (6)：

4M106CA42 , 4M106CA50 , 4M106CA70 , 4M106DA15 , 4M106DJ20 , 4M106DJ27

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

不良解析装置およびその方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-009967 Applicant：株式会社日立製作所
歩留まり解析方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-004890 Applicant：株式会社東芝
半導体解析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-105820 Applicant：株式会社東芝

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