液晶表示装置の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：安富耕二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997317170
Publication number (International publication number)：1999149093
Application date： Nov. 18, 1997
Publication date： Jun. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】広視野角の液晶表示装置を製造する。【課題】基板10上にゲート電極11、これを覆うゲート絶縁膜12、この上にp-Si膜13、これを覆う層間絶縁膜15、この上にドレイン電極16及びソース電極17が順次形成されて薄膜トランジスタが形成され、薄膜トランジスタを覆う平坦化絶縁膜18、この上に画素電極19、これを覆う垂直配向膜31が形成される。垂直配向膜31にはラビング処理が施されず、負の誘電率異方性を有する液晶は、プレチルトを有することなく基板の法線方向に初期配向制御される。電圧印加により、画素電極19端において斜め電界により傾斜方向が制御され、画素分割が行われる。ラビング処理が削減されているので薄膜トランジスタの静電破壊が防がれる。

Claim (excerpt)：

対向配置された第1の基板と第2の基板の間に液晶が封入され、前記第1の基板または/および前記第2の基板の外側面には、偏光板が設けられてなり、前記偏光板を抜けた偏光を前記液晶にて変調することにより表示を行う液晶表示装置の製造方法において、前記第1の基板となる支持基板の対向面上に複数の薄膜トランジスタ及びその電極配線を形成する工程と、前記薄膜トランジスタ及びその電極配線を覆って表面が平坦化された絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜に開口部を形成して、対応する薄膜トランジスタの一部を露出する工程と、前記絶縁膜上に、前記開口部を介して前記薄膜トランジスタに電気的に接続する液晶駆動用の画素電極を形成する工程と、前記画素電極を覆って、液晶の初期配向を制御する垂直配向膜となる材料膜を成膜する工程と、加熱により前記材料膜を乾燥することにより、液晶の初期配向を基板の法線方向、あるいは、法線方向から1°の範囲内に制御すべく垂直配向膜を形成する工程と、前記第2の基板となる支持基板の対向面上に、液晶駆動用の共通電極、及び、前記共通電極中の前記画素電極に対向する領域内に所定の形状を有する電極不在部である配向制御窓を形成する工程と、前記共通電極を覆って、液晶の初期配向を制御する垂直配向膜となる材料膜を成膜する工程と、加熱により前記材料膜を乾燥することにより、液晶の初期配向を基板の法線方向、あるいは、法線方向から1°の範囲内に制御すべく垂直配向膜を形成する工程と、前記第1の基板と前記第2の基板とを所定の間隙をもって貼り合わせる工程と、前記第1の基板と前記第2の基板の間隙に誘電率異方性が負の液晶を注入し、これを封止する工程と、前記第1の基板または/および前記第2の基板の外側面に偏光板を貼り付ける工程と、からなることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (4)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1337 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (5)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1337 , H01L 29/78 612 Z , H01L 29/78 616 A , H01L 29/78 617 K

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-073935 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-157120 Applicant：三洋電機株式会社
液晶セルの製作法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-342744 Applicant：日本ビクター株式会社

液晶光学フィルタ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-127971 Applicant：ソニー株式会社

特開平4-125521

液晶表示素子およびその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-094117 Applicant：シャープ株式会社

投射型液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-328305 Applicant：シャープ株式会社

液晶垂直配向膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-012158 Applicant：日産化学工業株式会社

半導体装置およびその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-329761 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所, シャープ株式会社

液晶パネルおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-061330 Applicant：株式会社日立製作所

液晶表示素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-244869 Applicant：株式会社東芝

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