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J-GLOBAL ID：200903058506090141

流体用導管、流体用導管を形成する方法、マイクロアレイシステム、DPNシステム、流体回路、及びマイクロアレイの製造方法

Inventor： トーマス ハンチェル ,  デイビッド ケー. フォーク ,  ユージン エム. チャウ ,  ダーク デブライカー ,  ミシェル エー. ローザ
Applicant, Patent owner： ゼロックス コーポレイション
Agent (2)： 中島 淳 ,  加藤 和詳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003286395
Publication number (International publication number)：2004106172
Application date： Aug. 05, 2003
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：

【課題】 マイクロアレイシステム、つけペン式ナノリソグラフィシステム、流体回路及びマイクロ流体システムで使用可能な流体導管の提供。【解決手段】 流体用導管は、基板440に取り付けられた固定部453と、基板440から離れる曲がりを有するカンチレバー部454とを有するばねビーム460を含む。このばねビーム460は、該ばねビーム460のカンチレバー部454に沿って流体を運ぶための、カンチレバー部454の曲がりに対して略平行に延びる第1のチャネル452を定める。【選択図】 図12

Claim (excerpt)：

基板に取り付けられた固定部と、前記基板から離れる曲がりを有するカンチレバー部とを有するばねビームを含む、流体用導管であって、前記ばねビームが、該ばねビームの前記カンチレバー部に沿って流体を運ぶための、前記カンチレバー部の前記曲がりに対して略平行に延びる第1のチャネルを定める、流体用導管。

IPC (4)：

B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  B82B3/00 ,  G01N37/00

FI (4)：

B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  B82B3/00 ,  G01N37/00 102

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 米国特許第3,842,189号明細書
  
• 米国特許第5,613,861号明細書
  

Cited by examiner (3)

• マイクロポンプ
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平10-526087   Applicant：ゲーシム・ゲゼルシャフト・フューア・ズィリーツィウム-ミクロズュステーメ・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング
• ガスフローセンサ及びその形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-250828   Applicant：沖電気工業株式会社
• プローブカードおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-145975   Applicant：株式会社アドバンテスト, 下河辺明, 秦誠一