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J-GLOBAL ID：200903058566329062

導光部材、光検出装置、欠陥検査装置

Inventor：
森川 雅弘

About 森川 雅弘

, 
古田 和三

About 古田 和三


Applicant, Patent owner：
コニカ株式会社

About コニカ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997026377
Publication number (International publication number)：1998221273
Application date： Feb. 10, 1997
Publication date： Aug. 21, 1998
Summary：
【要約】【課題】 検査光を被照射物に照射し、その正透過光(又は正反射光)と、拡散透過光(又は拡散反射光)とを検出することにより、被照射物の欠陥を検査する欠陥検査装置に有用な光検出装置、及び導光部材を提供することを目的とする。【解決手段】 第1の側面と、前記第1の側面と対向する第2の側面を有し、前記第1の側面の曲率が前記第2の側面の曲率よりも小さい柱状光伝達部材を有し、前記第1の側面から入射する光の一部を、前記柱状光伝達部材の略柱軸方向へ導く導光機能を備えることを特徴とする導光部材。
Claim (excerpt)：
第1の側面と、前記第1の側面と対向する第2の側面を有し、前記第1の側面の曲率が前記第2の側面の曲率よりも小さい柱状光伝達部材を有し、前記第1の側面から入射する光の一部を、前記柱状光伝達部材の略柱軸方向へ導く導光機能を備えることを特徴とする導光部材。
IPC (4)：
G01N 21/89 ,  B05D 3/00 ,  G01N 21/84 ,  G02B 6/00
FI (4)：
G01N 21/89 Z ,  B05D 3/00 ,  G01N 21/84 E ,  G02B 6/00 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • 表面検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-096143   Applicant：株式会社東芝
  • 特開昭63-261305
  • 特開昭57-012351
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