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J-GLOBAL ID：200903058586211459
磁気ヘッド検査方法、磁気ヘッド検査装置、及び磁気ヘッド製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 浩三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008263746
Publication number (International publication number)：2009230845
Application date： Oct. 10, 2008
Publication date： Oct. 08, 2009
Summary：
【課題】製造工程途中のできるだけ早い段階で薄膜磁気ヘッドの書き込みトラック幅の検査を行う。【解決手段】ローバー状態の薄膜磁気ヘッドにボンディングパッドより記録信号(励磁用信号)を入力し、薄膜磁気ヘッドに含まれる記録ヘッド(素子)より発生される磁界の様子を、磁気ヘッドの浮上高さ相当分の位置でスキャン移動させて磁気力顕微鏡(MFM)、走査型ホールプローブ顕微鏡(SHPM)又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡(SMRM)にて直接観察することで、記録ヘッド(素子)の物理的な形状ではなく発生磁界形状を測定し、磁気的な実効トラック幅の検査を非破壊で実施可能とした。スピンスタンドを用いてHGA状態又は擬似HGA状態でしか検査できなかった実効トラック幅の測定を、磁気力顕微鏡を用いることによってローバー状態で行えるようにした。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
ウエハから切り出されたローバー状態の磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッド検査方法において、
前記磁気ヘッドの記録ヘッド部に励磁用信号を供給した状態で、磁気力顕微鏡のカンチレバー手段の磁性探針を前記磁気ヘッドの記録部表面から磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上高さ相当分だけ離間した位置に保持した状態で、前記磁気ヘッドの記録ヘッド部の表面に沿ってスキャン移動させて、前記カンチレバー手段の励振状態を示す信号を検出し、それに基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を測定することを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
IPC (1)：
FI (1)：
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (2)
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