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J-GLOBAL ID：200903058945453773

フラットパネル表示器検査方法及び装置

Inventor：
佐藤 博

About 佐藤 博


Applicant, Patent owner：
株式会社アドバンテスト

About 株式会社アドバンテスト


Agent (1)： 草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998357559
Publication number (International publication number)：2000180375
Application date： Dec. 16, 1998
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】 検査体毎にノイズの発生レベルが変動しても、正しい閾値を自動的に決定して欠陥の有無を判定するフラットパネル表示器検査方法と検査装置を提案する。【解決手段】 検査すべきフラットパネルに明又は暗画像を映出させ、この画像をカメラ部で撮像して生画像を取得し、この生画像から背景成分を除去して差画像を取得し、差画像に得られた白信号と黒信号の総エネルギσを求め、その総エネルギを利用して欠陥とノイズを区別する閾値を決定する。
Claim (excerpt)：
検査すべきフラットパネル表示器に全面が明又は暗の何れかの画像を映出させ、この画像をカメラ部により撮像し、その撮像信号を画像メモリに取り込み、画像メモリに取り込んだ生画像から背景となる平滑画像を求め、この平滑画像を上記生画像から差し引いて差画像を求め、この差画像に残された白信号又は黒信号のレベルを閾値と比較し、閾値を越える白信号又は黒信号が発生する画素を欠陥と判定する表示器検査方法において、上記差画像で求められる白信号又は黒信号のレベルの平均値を算出し、このレベルの平均値を閾値決定用パラメータとして利用することを特徴とするフラットパネル表示器検査方法。
IPC (6)：
G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G09F 9/00 352 ,  H01J 9/42 ,  H01J 11/00 ,  G01B 11/30
FI (6)：
G01N 21/88 650 ,  G01M 11/00 T ,  G09F 9/00 352 ,  H01J 9/42 A ,  H01J 11/00 A ,  G01B 11/30 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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