強誘電体薄膜素子の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992267607
Publication number (International publication number)：1994119811
Application date： Oct. 06, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】【構成】金属アルコキシドを主原料とするゾルゲル法による強誘電体薄膜の製造において、原料を加水分解したゾルに強誘電体酸化物微粒子を添加し、均一に混合して塗布液とすることを特徴とする強誘電体薄膜素子の製造方法。強誘電体酸化物微粒子の大きさは、0.01μm以上10μm以下である。【効果】厚膜化が容易で、高い圧電ひずみ定数を持つ圧電素子を歩留まりよく提供できた。容易なプロセスで作製することができるため、低コストで微細化も可能である。

Claim (excerpt)：

金属アルコキシドを主原料とするゾルゲル法による強誘電体薄膜の製造において、原料を加水分解したゾルに強誘電体酸化物微粒子を添加し、均一に混合して塗布液とすることを特徴とする強誘電体薄膜素子の製造方法。

IPC (6)：

H01B 3/00 , C01G 25/00 , H01L 41/24 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 27/108

FI (3)：

H01L 41/22 A , B41J 3/04 103 A , H01L 27/10 325 J

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

厚膜無機酸化物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-124432 Applicant：株式会社リコー
特開平4-259380
圧電体、強誘電体薄膜素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-258399 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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Cited by examiner (1)

厚膜無機酸化物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-124432 Applicant：株式会社リコー

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