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J-GLOBAL ID：200903059620617512
反応チャンバガス流入方法及びそれに用いるシャワ-ヘッド
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
萩原 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000008699
Publication number (International publication number)：2000212752
Application date： Jan. 18, 2000
Publication date： Aug. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】 汚染粒子の増加及び蒸着速度の低下の問題を同時に解決する反応チャンバガス流入方法及びそれに用いるシャワーヘッドを提供する。【解決手段】 第1反応ガスBと残りの反応ガスAとが互いに混合しないように、個々のガス注入口を介して、第1反応ガスBは基板110の縁部に向けて流入し、残りの反応ガスAは基板110の中心部に向けて個々に流入する。さらに、第1反応ガスB及び残りの反応ガスAがシャワーヘッド内にて互いに混合しないように、通路を個々に設け、第1反応ガスBの放出口140はシャワーヘッドの底面の縁部に形成し、残りの反応ガスAの放出口130はその中央部に形成する。これによりシャワーヘッド及び反応チャンバ100の内部における汚染粒子の生成を抑え、蒸着速度を増大させる。
Claim (excerpt)：
反応チャンバ内に載置された基板に所定の膜を蒸着するため、相互反応性のある2種類又はそれ以上の反応ガスを前記反応チャンバ内に流入する反応チャンバガス流入方法であって、第1反応ガスと残りの反応ガスとは互いに混合しないように個々のガス注入口を介して供給され、前記第1反応ガスは前記基板の縁部に向けて流入し、前記残りの反応ガスは前記基板の中心部に向けて流入させることを特徴とする反応チャンバガス流入方法。
IPC (2)：
FI (2)：
C23C 16/455
, H01L 21/31 B
Cited by examiner (6)
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特開昭61-005515
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化学的気相成長法及び化学的気相成長装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-236247
Applicant：日産自動車株式会社
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特開平1-223724
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