プラズマ発生方法及びプラズマ発生装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：原田信市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002211744
Publication number (International publication number)：2004055362
Application date： Jul. 19, 2002
Publication date： Feb. 19, 2004
Summary：

【課題】電極へ印加する電圧の立ち上がり時間を改善でき、大気圧近傍の圧力下でのグロー放電により、ストリーマにならない安定したプラズマ発生を実現できるようにする。【解決手段】両電極間で誘電体バリア放電によりプラズマを発生させる場合、両電極A・Bに、極性が正負対称で位相が重複して正負がそれぞれ交互となるパルス波又は正弦波の高電圧を同時に印加する。一方の電極又は両方の電極の高電圧を可変して、プラズマ中のイオンと電子のバランスを調整する【選択図】図5

Claim (excerpt)：

両電極間で誘電体バリア放電によりプラズマを発生させる方法であって、前記両電極に、極性が正負対称で位相が重複して正負がそれぞれ交互となるパルス波又は正弦波の高電圧を同時に印加することを特徴とするプラズマ発生方法。

IPC (3)：

H05H1/24 , B01J19/08 , C23C16/50

FI (3)：

H05H1/24 , B01J19/08 E , C23C16/50

F-Term (27)：

4G075AA02 , 4G075AA22 , 4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075BA05 , 4G075BA10 , 4G075BB10 , 4G075BC02 , 4G075BC03 , 4G075BC06 , 4G075BC10 , 4G075CA16 , 4G075CA47 , 4G075DA03 , 4G075DA04 , 4G075EC21 , 4G075EC30 , 4G075FC13 , 4G075FC15 , 4K030FA01 , 4K030HA08 , 4K030JA09 , 4K030JA15 , 4K030KA30 , 4K030KA32 , 4K030LA01 , 4K030LA11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-212871 Applicant：松下電工株式会社
特開平4-048727
プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-157445 Applicant：松下電工株式会社

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Cited by examiner (6)

プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-212871 Applicant：松下電工株式会社
特開平4-048727
特開平4-048727

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