アクティブマトリックス基板及びそれを用いた光学変調素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000084678
Publication number (International publication number)：2001264798
Application date： Mar. 22, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】TFTアクティブマトリックス基板において、配線と画素電極間に層間絶縁層を設けることにより画素電極-配線間のカップリング容量を低減でき、開口率や画質を向上できる。しかし、この効果を得るためには、比較的厚い層間絶縁層が必要となり、周辺回路チップを端子部に接続する際、その信頼性が低下する。このため、この信頼性の向上が課題となる。【解決手段】前期層間絶縁層の端子部周辺の膜厚を薄くする。これにより、周辺回路接続の障害を低減できる。【効果】TFTアクティブマトリックス基板において、配線と画素電極間に層間絶縁層を設けることにより画素電極-配線間のカップリング容量を低減でき、開口率や画質を向上でき、周辺回路接続の信頼性を向上した液晶表示装置を提供できる。

Claim (excerpt)：

絶縁基板上に複数の走査線と信号線、スイッチング素子、画素電極を具備し、画素電極より基板側に層間絶縁層を具備したアクティブマトリックス基板において、層間絶縁層が走査線あるいは信号線の少なくとも一方の端子部周辺で薄くなっていることを特徴とするアクティブマトリックス基板。

IPC (3)：

G02F 1/1345 , G02F 1/1333 505 , H01L 29/786

FI (3)：

G02F 1/1345 , G02F 1/1333 505 , H01L 29/78 619 A

F-Term (96)：

2H090HA03 , 2H090HB07X , 2H090HD03 , 2H090LA04 , 2H092JA26 , 2H092JA29 , 2H092JA33 , 2H092JA34 , 2H092JA35 , 2H092JA38 , 2H092JA39 , 2H092JA42 , 2H092JA43 , 2H092JA44 , 2H092JA46 , 2H092JB13 , 2H092JB23 , 2H092JB27 , 2H092JB32 , 2H092JB33 , 2H092JB36 , 2H092JB38 , 2H092JB51 , 2H092JB57 , 2H092JB63 , 2H092JB69 , 2H092KA05 , 2H092KA12 , 2H092KA16 , 2H092KA18 , 2H092KB25 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA13 , 2H092MA18 , 2H092MA19 , 2H092MA20 , 2H092MA27 , 2H092NA13 , 2H092NA25 , 2H092NA27 , 2H092NA30 , 2H092PA03 , 2H092PA06 , 2H092RA05 , 5F110BB01 , 5F110BB20 , 5F110CC02 , 5F110CC07 , 5F110DD13 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG14 , 5F110GG15 , 5F110GG24 , 5F110GG25 , 5F110GG44 , 5F110GG45 , 5F110GG47 , 5F110HJ01 , 5F110HJ12 , 5F110HJ23 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK09 , 5F110HK14 , 5F110HK15 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK25 , 5F110HK33 , 5F110HK35 , 5F110HL04 , 5F110HL07 , 5F110HL23 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN36 , 5F110NN40 , 5F110NN72 , 5F110PP03 , 5F110QQ09 , 5F110QQ11 , 5F110QQ25

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

フォトマスク及びアクティブ素子アレイ基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-319443 Applicant：松下電器産業株式会社
液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-172664 Applicant：松下電器産業株式会社
アクティブ素子アレイ基板およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-175062 Applicant：松下電器産業株式会社

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