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J-GLOBAL ID:200903060113147871

光インプリントモールドおよび光インプリント方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006056089
Publication number (International publication number):2007234153
Application date: Mar. 02, 2006
Publication date: Sep. 13, 2007
Summary:
【課題】ディスク基板の製造において、被転写媒体にアライメントマークを設けることなく、記録パターン中心と回転軸をディスクの表裏で正確に位置合せすること。【解決手段】ディスク基板に記録パターンを転写するための光インプリントモールドであって、ディスク基板中央の転写されない回転軸周りの開口部に該当する位置にアライメントマークを設けた光インプリントモールドを提供する。また、レジストが塗布されたディスク基板とモールドを圧着する前に、ディスク基板のストッパー、及びディスク基板中央の開口部に位置するようにアライメントマークを有する基板ホルダーにディスク基板を載置し、次に前記光インプリントモールドのアライメントマークと前記基板ホルダーのアライメントマークに基づいて、ディスク基板とモールドの位置合わせを行う光インプリント方法を提供する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
ディスク基板に記録パターンを形成するための光インプリントモールドであって、ディスク基板中央の回転軸周りのパターン形成されない開口部に該当する位置にアライメントマークが設けられていることを特徴とする光インプリントモールド。
IPC (1):
G11B 5/84
FI (1):
G11B5/84 Z
F-Term (6):
5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA02 ,  5D112BA10 ,  5D112GA00 ,  5D112GA20
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (3)

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