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J-GLOBAL ID：200903060226399966

基板搬送用クランプユニット

Inventor：
井上 和久

About 井上 和久


Applicant, Patent owner：
株式会社 シーズ

About 株式会社 シーズ


Agent (1)： 秋田 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005065907
Publication number (International publication number)：2006248651
Application date： Mar. 09, 2005
Publication date： Sep. 21, 2006
Summary：
【課題】 薄くて撓みやすいフレキシブル基板や、撓みにより破損し易いガラス基板を、撓ませずに搬送することができるようにする。【解決手段】 矩形シート状の基板Pの少なくとも4隅近傍部分を、同一平面内に位置する複数のクランプ部材13で把持しつつ、これらのクランプ部材13で前記基板Pの中心から離れる向きに前記平面内で均等に引っ張りながら、これらのクランプ部材13を一体的に移動させて基板Pを搬送する。基板の自重や搬送中の振動により基板が変形したり、破損したりする事故を防止することができ、特に、エッチング処理工程等において基板を搬送しながら処理する場合に、ノズルから基板表面に向けて噴射される処理液の圧力を受けても、基板が撓んだり波打ったりすることがなく、処理中の基板の破損や変形を効果的に防止できる。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
矩形シート状の基板の少なくとも4隅近傍部分を、同一平面内に位置する複数のクランプ部材で把持しつつ、これらのクランプ部材で前記基板の中心から離れる向きに前記平面内で均等に引っ張りながら、これらのクランプ部材を一体的に移動させて基板を搬送することを特徴とする基板搬送方法。
IPC (2)：
B65G 49/06 ,  H01L 21/677
FI (2)：
B65G49/06 A ,  H01L21/68 S
F-Term (10)：
5F031CA05 ,  5F031CA09 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA10 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA16 ,  5F031MA24 ,  5F031PA13
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)

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