ダイヤモンド状炭素膜を被覆した金属部材及び被覆形成方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004135137
Publication number (International publication number)：2005314758
Application date： Apr. 30, 2004
Publication date： Nov. 10, 2005
Summary：

【課題】ダイヤモンドライクカーボン膜の強固な付着が困難なステンレス鋼材をはじめとする金型、切削工具、機械部品等の金属部材へのより付着強度の強いカーボン硬質膜のコーティングを実現すること。【構成】ダイヤモンド状炭素(DLC)膜を被覆された金属部材において、アモルファス鉄シリサイドを金属部材側に、Si若しくは酸化珪素又はB-C-N系化合物若しくは該化合物とSiとの化合物をDLC膜側に中間層として介在させたことを特徴とするダイヤモンド状炭素膜を被覆した金属部材。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ダイヤモンド状炭素(DLC)膜を被覆された金属部材において、アモルファス鉄シリサイドを金属部材側に、Si又は酸化珪素をDLC膜側に中間層として介在させたことを特徴とするダイヤモンド状炭素膜を被覆した金属部材。

IPC (1)：

C23C14/06

FI (1)：

C23C14/06 P

F-Term (14)：

4K029AA04 , 4K029BA34 , 4K029BA35 , 4K029BA41 , 4K029BA46 , 4K029BB02 , 4K029BB10 , 4K029BD03 , 4K029BD05 , 4K029BD06 , 4K029CA01 , 4K029CA05 , 4K029DB20 , 4K029DC32

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特公平6-60404号公報
円筒状部材の内周面への被膜形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-272698 Applicant：シチズン時計株式会社
ダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-375444 Applicant：ティーディーケイ株式会社

Show all

Cited by examiner (1)

多層スパッタ成膜装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-206400 Applicant：日本空圧システム株式会社

Return to Previous Page