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J-GLOBAL ID:200903060317266314

荷電粒子搬送式イオン化装置及び方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 木内 光春
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999004055
Publication number (International publication number):2000208293
Application date: Jan. 11, 1999
Publication date: Jul. 28, 2000
Summary:
【要約】【課題】 オゾンや電磁ノイズの発生及び発塵等を起こすことなく、狭いスペースに対しても除電が可能であり、且つ、イオンの搬送距離を長くすることができる荷電粒子搬送式イオン化装置及び方法を提供する。【解決手段】 第1及び第2のイオン発生チャンバ8a,8bに、軟X線発生部9a,9bを設け、イオン搬送ガスを軟X線によりイオン化して正負イオンとする。第1及び第2のイオン発生チャンバ8a,8bに水蒸気供給部12a,12bと低温ガス供給部13a,13bを設け、水蒸気を低温ガスで冷却することにより過飽和状態にし、微小ミストを発生する。上記正負イオンと微小ミストとから、粗大荷電粒子が生成され、この粗大荷電粒子を搬送チューブ18a,18bによって搬送する。再熱部30において加熱により微小ミストを気化し、正負イオンのみを残留させ、それらを帯電体Sに供給する。
Claim (excerpt):
静電気を除去するために帯電体の近傍に向かってイオン搬送ガスを供給するチューブと、前記チューブ内に供給するイオン搬送ガスの一部をイオン化して正負イオンとするイオン化手段とを備えた荷電粒子搬送式イオン化装置において、前記チューブ内に供給するイオン搬送ガスを加湿する加湿手段と、前記加湿されたイオン搬送ガスを冷却することにより、該イオン搬送ガス中の水蒸気を過飽和状態にして微小ミストを発生させる冷却手段と、前記正負イオンと前記微小ミストとを混合させて粗大荷電粒子とし、該粗大荷電粒子を前記チューブに供給する粗大荷電粒子発生手段とを具備することを特徴とする荷電粒子搬送式イオン化装置。
F-Term (2):
5G067AA42 ,  5G067DA22
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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